中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 10 #9036797 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 10は、半導体デバイス製造用の高性能イオンインプラントおよびモニターです。プロセスパラメータを正確に監視し、個々のイオンを非常に高い精度で埋め込むように設計された高度な分析プラットフォームです。最先端の制御機能により、オペレータは一貫した埋め込みプロセスを迅速にセットアップし、維持することができます。さらに、移植されたイオン、周波数、濃度および分布のオンザフライ解析を実行するために使用することができます。AXCELIS NV 10の主要コンポーネントには、正確に制御された高精度の3軸リニアモータプラットフォームが含まれており、インプラントのヘッドを移動させ、超高精度と解像度を実現します。イオン注入率、ビームスポットサイズ、イオン質量、エネルギーを測定し、プロセス結果を検証するための活性分析室を備えています。フィードバック装置は、広範囲の条件にわたって埋め込みプロセスを一定に保つのに役立ちます。EATON NOVA NV 10には、サンプルに対するインプラントヘッドの相対位置の変化を監視および記録するためのさまざまな高度な機能が組み込まれています。精度と再現性を最適化することができます。また、イオン埋込速度、ビームスポットサイズ、イオン質量、エネルギーのリアルタイム測定を提供するイオン測定システムも含まれています。NV10には自動ウェーハハンドリングユニットがあり、スループットを向上させるために複数のウェーハを迅速かつ効率的に埋め込むことができます。自動化されたマシンは、最大4つのウエハカセットをサポートし、プロセスを中断することなく、迅速または動作中にインプラントのサンプルを変更することができます。全体として、EATON NOVA/AXCELIS NV 10は非常に強力で正確なイオン注入器およびモニターです。これは、埋め込みツールとプロセスパラメータの着実かつ正確な制御を必要とする挑戦的なプロセスのために設計されています。このアセットは使いやすく、埋め込みプロセスの優れた精度と安定性を提供し、さまざまなアプリケーションに使用することができます。