中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9183991 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80は、信頼性と正確なパルスイオン注入を提供するように設計されたイオンインプランター&モニターです。自動化と精密制御を備えた特許取得済みの最適化されたビームライン設計を備えています。この装置は高度なビーム制御モジュールとプロセス制御ソフトウェアを備えており、異なるプロセス条件の効率的なガス流量制御、変位制御、ビーム電流レギュレーションを可能にします。また、コンパクトで省スペースな設計となっており、箱から取り出して設置が可能です。AXCELIS NV 10-80は、パルス速度、パルス形状、パルス持続時間、パルス電流などの優れたビーム特性により、優れたイオン注入性能を提供します。これは、ウェーハに埋め込まれていないイオンの量を減らすことができ、したがって、収率を高め、コストを削減することができ、非常に高い埋め込み効率を持っています。このユニットはまた、独自のリアルタイムインプラント自己診断機能を備えており、着床前または着床中にビームの不規則性を検出することができます。EATON NOVA NV 1080には、完全に統合された監視、測定、制御機能が搭載されています。マシンのモニタパネルには、レート、圧力、用量、電流、インプラント位置など、すべての重要な情報が表示されます。このツールには、自動化されたチャンバー、ビーム、ウェーハスキャン機能、ウェーハの回転、フォーカシング、アライメント機能も備えています。これにより、ユーザーは注入線量を正確に制御し、ビームパラメータを最適化することができます。NV10-80は使いやすく柔軟性があり、幅広い経験レベルのオペレーターが使用できます。これは、中規模から大規模アプリケーション向けの高度なプロセス制御性、生産性、歩留まりを備えた、コスト効率に優れた生産ソリューションです。資産はまた維持し易く、長期信頼性を提供できます。AXCELIS NV 1080は、最高の安全性と品質基準を満たすように設計されており、長期間にわたって高性能を維持することができます。それはHAS準拠であり、品質、安全性、および信頼性に関しては、最も厳しい業界標準を満たすように設計されています。