中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9199861 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160は、最新のイオン注入要件に対応するように設計された高圧インプラントおよびモニターです。この装置は最大10kVで動作可能で、電流範囲は最大160mAです。それに線量、流れ、電圧および時間のような変数を監視し、制御するのに使用することができる作り付けのデジタル表示装置があります。AXCELIS NV10-160は直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このインターフェイスを使用すると、簡単なメニューを使用してシステムパラメータを簡単に設定、監視、調整できます。また、インプラント実行のデータ収集、監視、記録も可能で、シンプルなセットアップと再現性のために以前のパラメータをすばやく呼び出すことができます。さらに、インターフェースは特定のアプリケーションやプロセスレシピにカスタマイズできます。EATON NOVA NV 10160にはマルチエネルギーインプラント源も含まれており、単一の電圧サイクルで複数のエネルギーレベルを実現します。これにより、より少ないエネルギー変動で高品質のインプラントが可能になります。このユニットはまた、制御、再現性、精度を向上させるための幅広いエネルギースプレッドとターゲットインプラントのプロファイルを提供しています。AXCELIS NV 10-160は、幅広いウエハ、基板、ダイに対応可能です。これにより、メモリチップ、ロジックIC、 MEMS、 MEMS-RFコンポーネント、およびその他のゲート構造を含むさまざまなコンポーネントを埋め込むことができます。この機械は、イオンの流れを集中させるために使用できるマスクとコリメータの範囲を提供し、均一な注入よりも高い精度を提供します。その非常に柔軟なアプリケーションの可能性に加えて、NV10-160はまた、低温動作と低ビーム電流能力を備えています。これにより、より要求の厳しい超精密インプラントが可能になり、同時に基板へのドリフトと熱応力の影響を低減します。さらに、このツールは高度な安全機能と自動アラームを使用して、インプラント・プロセスの完全性を監視および保護します。全体的に、EATON NOVA/AXCELIS NV10-160は、超精度と柔軟性のための商用グレード、最高レベルのイオンインプランター&モニターです。直感的なタッチスクリーンインターフェース、マルチエネルギーインプラント源、精度、低温動作、安全対策により、メモリチップからMEMS-RFコンポーネントへの埋め込みに最適です。