中古 EATON NOVA / AXCELIS Interface module for 8250 #293587301 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 8250 Ion Implanter&Monitorは、材料や部品の特性を向上させるために基板にイオンを供給するように設計されたコンピュータ制御デバイスです。AXCELIS 8250は、イオンインプランター、モニター、コントローラの3つの主要コンポーネントで構成されています。イオンインプランターは、基板に必要なイオンビーム電流とビーム品質を供給する責任があります。これは、高真空環境、フィールド放出銃、質量分析計を使用して実現されます。モニターは、基板全体にビーム電流、エネルギー、およびその分布を記録することによって、イオンビームの性能を監視するために使用されます。最後に、コントローラーはイオン注入器、モニターおよびさまざまな安全システムの制御を提供する統合された装置です。EATON NOVA 8250の中心には、必要なエネルギーレベルまでイオンを加速し、それらを基板に向ける高エネルギービームラインがあります。これは、ビーム電流、エネルギー、およびその分布を制御する高電圧電源を介して行われます。さらに、表面汚染によるイオンの損傷を防ぐため、高真空環境を維持しています。8250の有効性をさらに向上させるために、ビーム電流とエネルギー分布を制御する二次電子乗算器を装備することができます。また、イオントラッピング磁石はビームを誘導するために使用され、ハロゲンランプは最適なビームプロファイルを生成するために使用されます。EATON NOVA/AXCELIS 8250には、イオン源プリインジェクタ、誘導アークチャンバー、イオンビームモニターなどの補助システムやデバイスも搭載されています。イオン源プレインジェクタは、イオンビームをインプランター室に注入する前に準備するために使用されます。誘導アークチャンバーはビームプロファイルを強化するために使用され、イオンビームモニターはビームの混乱を検出するために使用されます。AXCELIS 8250には、ビデオディスプレイとオーディオアラームユニットを備えた自己完結型の安全システムと、緊急時に電源を遮断するサーキットブレーカも装備されています。結論として、EATON NOVA 8250 Ion Implanter&Monitorは、イオンを基板に埋め込むことによって材料や部品の特性を改善するために使用される先進的なデバイスです。8250は、高真空環境とフィールド放出銃、質量分析計、誘導アークチャンバなどの部品の配列を備えており、安全性を高めるための安全装置でさらに強化されています。さらに、高度な制御機能により、ユーザーはデバイスのパフォーマンスを正確に制御することができ、結果を向上させることができます。