中古 EATON NOVA / AXCELIS HC3 Ultra #9411352 を販売中
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ID: 9411352
Ion implanter
YASKAWA Robot
YASKAWA XU-ACL4140 Robot track
Disk type: Variable Speed Drive (VSD)
Wafer transfer type: In-Air
Dry transformer
HYT
Vacuum ARM: CAM Arm
(3) CTI-CRYOGENICS 250 F (On-board) Cryo pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
Shower type: P-Shower 11020020
Cell type: V6
BROOKS AUTOMATİON Fixload load port
Spare parts:
Part number / Description
1187286 / Disk TC DI Cryo interlock
11053210 / Cell controller V6
11049380 / Scan controller
11054580 / Wafer transfer controller
11054560 / Load lock controller
1195730 / Rotary drive controller
11028010 / Rotary drive amplifier
XU-BCD3111 / YASKAWA Robot driver box
XU-CN0821 / YASKAWA Robot controller box
11050220 / Power dose controller
11017920 / Gas box controller
110000950 / Source controller
1214110 / Filament PSU
1214120 / Arc PSU
1214130 / Cathode PSU
1188151 / Terminal beam line DI
1163967 / Ground electronic DI
1163960 / Ground electronic DI
1195140 / Disk VAC DI
1188310 / Electrode manipulator DI
1214460 / Plasma filament PSU
11020020 / Plasma controller
110098500 / 100101530 / Rotary driver brake controller
2100276 / Source magnet PSU
1188375 / Terminal electronic DI
2200176 / Decal PSU
2200173 / HV PSU Extraction suppression
2200173 / HV PSU Decal suppression
11054570 / Gyro controller
11034940/ 2200175 / AMU PSU (Power ten)
2200187 / Extraction PSU
1196510 / Gyro ball screw assembly
1196610 / V43
1908930 / Air interface
1908940 / Air interface
110001490 / Wafer holder assembly
11030960 / CAM Arm assembly
110002530 / V3 Assembly
11047650 / V7
2014 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultraは、最新のイオン注入アプリケーションの要求に応えるように設計された、高度なイオン注入装置およびモニター装置です。このツールは、50 KeVまでのイオンを加速することができる高電流イオン源、多段式の取り外し可能な真空チャンバ、自動化されたパターニングシステム、および堅牢な制御パッケージを備えています。AXCELIS HC3 Ultraは、アクティブなマイクロエレクトロニクス、誘電体、および基板の高品質の層を形成するために特に有益です。EATON NOVA HC3 Ultraは静電液浸レンズユニットを使用して、一貫したイオンのビームがターゲット領域に向けられるようにします。この機械はまたユーザーがイオンビームの形、またサイズおよび広がりを正確に調節することを可能にします。さらに、HC3 Ultraには、イオン注入のための安定したプロセス環境を維持するのに役立つ多段式の取り外し可能な真空チャンバーが含まれています。EATON NOVA/AXCELIS HC3 Ultraは、高度なユーザーフレンドリーなインターフェイスも備えています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはツールを完全に監視し、イオンソース電流（最大50 KeV）などのパラメータを調整してプロセスを制御できます。このソフトウェアは、イオンのビーム形状とエネルギー拡散の調整にも役立ちます。さらに、ユーザーはインプラントプログラムを選択して切り替えるだけでなく、カスタムガス混合物を保存することもできます。AXCELIS HC3 Ultraには、その他多くの革新的な機能が含まれています。例えば、その自動化されたパターニング資産は、ユーザーが事前に選択された注入エネルギーと用量で基板をパターン化することができます。また、ユニークなシフトレジスタを備えているため、ユーザーは層ごとの着床プロセスを強化できます。EATON NOVA HC3 Ultraは、高度な注入プロセスに従事する人々のための理想的なイオン注入器およびモニターです。高電流イオン源、多段式デマウント可能な真空チャンバー、自動パターニングモデル、およびユーザーフレンドリーなインターフェースにより、迅速かつ正確な着床結果を達成するための最適なツールです。さらに、ユニークなシフトレジスタと調整可能なビーム形状とスプレッド特性により、ユーザーは高品質のレイヤーをパターン化して作成するための幅広いオプションを提供します。
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