中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9210440 を販売中
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販売された
ID: 9210440
ウェーハサイズ: 6"
Ion implanter, 6"
Energy: 160 keV
(17) Batch wafers
Utility configuration:
Tool specification:
Line power:
Input power: 208VAC, 3 Phase, 60Hz, 130A, 42kVA
Output power: 160KeV, 20mA
Utility gas:
Name / Connection type / Size
CDA / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Ar / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
PN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
GN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Gas box N2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Exhaust:
Qty / Description / Type / Flow rate (CFM) / Size / Exhaust hood
(2) / Environments / GEX / 500 / 4", PVC / Y
(1) / Cryo pump / SEX / 40 / 1", SUS / Y
(2) / Gas cabinets / SEX / 600 / 2", PVC / Y
(2) / RP Exhausts / SEX / 100 / KF-40, Clamp / Y
Cooling water:
Description / Pressure (PSI) / Flow rate (GPM) / Temperature (°C) / Size
City water / 100 / 20 / 25 / 1", SUS, Clamp
DI Water refill / Manual / Manual / - / 1", PVC, Clamp
System configuration:
End station module:
Notch / Flat finder: Flat
Cassette type: Standard
Dummy cassette
Load buffer
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Cell controller
Loadlock type: GSD100/200
Process module:
Disk: NV-GSD
In-vac arm
Wafer holder
Pedestal
Gyro: NV-GSD-100
Linear drive
Belt drive
Beamline type: GSD 200
Maximum extraction voltage: 160KeV
AMU: Axcelis
Source module:
Source head: IAS
Filament PS: EMI EMS 10-60
Arc PS: EMI EMS 150-7
Source magnet PS: EMI EMS 40-25
Source bushing
Source injection: MKS 1640
Vacuum system:
P1 / Source turbo: STP-A2000C
P2 / Resolving cryo pump: CTI
P3 / V3 Cryo pump: CTI
(3) Ground bars
Sub-systems:
NESLAB HX-150
CTI 8300/8500
1994-1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSDは、ハイスループットイオン注入アプリケーション向けに設計されたイオンインプラントおよびモニタです。半導体、セラミックス、薄膜など、さまざまな材料の加工に使用できます。このデバイスは、柔軟で最適化されたプロセス制御を可能にする独自のソフトウェアパッケージであるAXCELIS GSD Implantation Softwareで動作します。インプラントのプロセスは、高エネルギー配達が可能なディオデガンによって加速され、12ウェイビームラインにより、複数のインプラント種/エネルギーを独立して使用することができます。410mm角のウェーハチャックと固定チャンバーアーキテクチャを備えており、高スループット動作を可能にします。このプロセスは、イオン電流、圧力、温度、ガスの流れ、ウェーハの位置を測定するさまざまなセンサーで監視されます。このデバイスはまた、高度な診断とフィードバック制御システムを統合しており、重要なプロセスパラメータを迅速かつ正確に測定できます。さらに、ソフトウェアパッケージの一部として、移植後のレビューとプロセス最適化のための分析ツールが含まれています。EATON NOVA GSDインテリジェント制御システムは、インプラントを最適化してサイクルタイムを短縮し、トータルコストを最小限に抑え、最高レベルのインプラント精度を確保します。プロセス動作中の安全性を確保するために、このデバイスは、安全インターロックや漏れ検出用のアラームなど、複数の安全システムを備えています。そのモジュラーレイアウトはまた容易な取付け、操作および維持を可能にします。この汎用性の高いシステムは、医療機器、航空宇宙、自動車部品などの産業市場や研究開発に使用されています。研究開発と大量生産の両方に優れたプラットフォームを提供します。
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