中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9145260 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSDは、半導体デバイスを作成するために半導体ウェーハにイオンを埋め込むために使用されるイオンインプラントおよびモニターです。これは、ユーザーとマシン間のデジタルインターフェイスの強化レベルを提供するように設計されています。これにより、ユーザーは埋め込みプロセスをより多くの制御と精度を持つことができます。AXCELIS GSDは、高性能アルミニウムプラズマチャンバーを備え、イオンの最高スループットと調整可能なイオンビームパスを提供する高度なイオンインプラントです。これにより、移植されたイオンの正確な配信と正確な制御が可能になり、最高品質の結果が得られます。また、このマシンは高効率であるように設計されており、サイクルレートは1時間あたり最大154,000ウェーハです。EATON NOVA GSDはまた、システムを監視し、プロセスの効率を示すことができる組み込みセンサーとモニターの範囲を備えています。また、緊急停止機能などのさまざまな安全機能を備えており、予期せぬ事態に備えて余分な保護層を提供します。GSDはイオンの埋め込みに加えて、プロセスからのデータの分析、埋め込みプロセスの監視、埋め込み結果の詳細情報の提供など、さまざまなタスクを実行することができます。また、特定のプロセス用のカスタムソフトウェアなどの専用ソフトウェアパッケージの統合も可能です。EATON NOVA/AXCELIS GSDは非常に強力なイオンインプラントおよびモニタで、半導体デバイス製造に最高レベルの精度、スループット、安全性を提供します。デジタルインターフェイスは、ユーザーにプロセスの制御と精度を向上させ、優れたパフォーマンスを備えた信頼性の高いインプランターを探しているユーザーに最適です。