中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9115127 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSDは、イオンを基材に埋め込むために使用されるイオンインプラントおよびモニターです。イオン源と基板材料を配置して埋め込むエンドステーションで構成されています。イオン注入プロセスは、材料中の分子に電気電荷を導入することによって基板材料の特性を変更するだけでなく、材料の要素や化合物を基板材料に導入する可能性があります。AXCELIS GSDは、イオン源としての熱蒸発器、アーク源、チタン昇華剤、および水素中性質量分析計を組み合わせて、試料材料に埋め込まれたイオンを検出および監視します。埋め込み面積の直径は、構成制御機能を使用して制御することで、基材全体にイオンを均一に埋め込むことができます。EATON NOVA GSDには、移植パラメータの遠隔制御を可能にする拡張制御装置も備えています。これにより、オペレータは遠隔地からプロセスを密接に監視することができます。制御システムはまた、イオンビームの精密制御を提供し、注入パラメータの正確さを保証します。GSDは、制御ユニットの拡張に加えて、着床プロセス中の安全な雰囲気を確保するために使用される空調機などの安全機能も備えています。このツールはまた、基材への汚染のリスクを低減し、埋め込みプロセスに最適な環境を提供します。EATON NOVA/AXCELIS GSDは、製造プロセスで使用される基板材料の特性を変更するために半導体業界で使用されています。また、強度を高めたり、電気的または断熱特性を導入するために材料にイオンを埋め込むために、医療および航空宇宙産業でも使用されています。さらに、AXCELIS GSDモニターは、特定の材料に対するイオン注入の影響を分析するツールとして科学研究に使用されています。全体として、イートンノバGSDは革新的で強力なイオン注入器であり、さまざまな基材にイオンを注入するために使用されるモニターです。精密な制御システムで高精度の埋め込みプロセスを提供し、安全で成功するプロセスを確実にするために必要なすべての安全機能を備えています。幅広い用途と機能を備えたGSDは、産業や研究所にとって貴重なツールです。