中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9103073 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSDは、Eaton AXCELIS PTEによって作成されたイオンインプラントおよびモニター機器です。Ltd。（株）このシステムは、ボロン、リン、ヒ素などの高エネルギーイオンを半導体製造や先端材料加工など様々な用途の材料に埋め込むために特別に設計されています。それは7 mesaVoltまでインプラントのエネルギーを適用することができ、直径14インチまでの基質の範囲を支えます。このユニットは、イオンビームの安定性と均一性を向上させるために直接ガス交換機を使用しています。AXCELIS GSDは、ユーザーの作業能力を強化するための強力な機能セットを提供します。これには、2つのイオン種に設定可能なデュアルイオン源を利用するガス流送ツールが含まれています。これにより、ユーザーは独自にビームの均一性と品質を向上させるためにイオンの量を制御することができます。このユニットには、4チャンネルのイオン源温度制御やビーム位置決めなどの高度な監視機能が装備されており、ビームパラメータをより厳密に制御できます。また、サンプルの過剰イオン化を回避するための保護マニホールドも提供されています。また、ビームセンタリングとシミングモデルも自動化されており、イオンビームの均一性をさらに向上させることができます。この機器には、会話ソフトウェアを備えたフル機能のデータ収集システムもあり、ユーザーはインプラントのプロセスパラメータを正確に監視し、必要に応じて調整することができます。さらに、このユニットには統合されたデジタル信号処理機があり、サンプルまたは機械関連のエラーや不規則性の永続的なイオン化のインスタンスを最小限に抑えることができます。最後に、走査型電子顕微鏡を搭載することで、ビームと基板の観察と着床過程の影響を観察することができます。EATON NOVA GSDは、高度で信頼性が高く、汎用性の高いイオン注入およびモニタリングツールです。デュアルイオンソース構成、自動ビームセンタリングおよびシミング、データ収集、およびデジタル信号処理システムは、ユーザーに植え込みプロセスを比類のない制御を提供します。さらに、Protective Manifold、統合された走査型電子顕微鏡、および4つのチャネルのイオン源温度制御およびビーム位置決めは、ユーザーにその埋め込み作業のためのより高いレベルの安全性と正確性を提供します。要約すると、GSDは、高度なイオン注入と監視資産を探している人にとって理想的な選択肢です。