中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD UHDは、Eaton Corp。によって開発された超高線量イオンインプラント/モニターです。AXCELIS GSD UHDは、イートンの革新的で実績のある高電流源技術で業界最高のイオン電流イオンを提供します。EATON NOVA GSD UHDはイオン注入器とモニターの両方を備えており、低エネルギーと高エネルギーインプラントの両方に費用対効果の高いソリューションを提供します。GSD UHDは、高エネルギーイオン注入の線量、電流、ビームプロファイルを正確に制御できます。これにより、ユーザーは現在のデバイス技術の厳しい要件を満たすためにイオン注入プロセスを正確にカスタマイズすることができます。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHDモニターは、高精度のイオンビーム電流読み取りとその位置で着床条件を継続的に監視します。AXCELIS GSD UHDインプランターとモニターシステムを組み合わせることで、ユーザーは埋め込みパラメータの精度と制御を可能な限り最高のものにします。EATON NOVA GSD UHDイオン注入器には画期的な高電流源が装備されており、最大1mA 3keVまでのイオンエネルギーでのビーム電流能力を提供します。これにより、最高レベルの精度と再現性を備えたさまざまな基板やデバイスを正確かつ正確に処理できます。GSD UHDの注入器にまた電子ビーム熱処理、混合の窒化物および酸化物のフィルムの積み重ね、および基質をアニールすることをユーザーが可能にするガスおよびエンドステーションの選択の広い範囲があります。EATON NOVA/AXCELIS GSD UHDモニターは、内蔵の高解像度マルチチャネル信号プロセッサを使用して、重要な処理パラメータにリアルタイムでアクセスできます。これにより、ユーザーは注入時にビーム電流、ビームプロファイル、ビームエネルギーを正確に制御できます。また、インプラントのパラメータのポスト分析のために、用量の均一性、総投与量、イオン電流などの重要な情報をユーザーに提供します。AXCELIS GSD UHDイオンインプラントおよびモニターシステムは、市場で最も信頼性が高く正確なイオン注入性能をユーザーに提供し、今日の最先端の処理要件に費用対効果の高いソリューションを提供します。堅牢な機能セットを備えたEATON NOVA GSD UHDは、イナンインプランターとモニターシステムの最高を表しています。