中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HEは、半導体、MEMS、その他の電子デバイス製造などの様々な用途の基板へのイオン粒子の埋め込み/スパッタリングに使用されるイオンインプランター&モニターです。EatonとAXCELISの両方の最高の機能を多目的で効率的なユニットに組み合わせることができます。AXCELIS GSD電磁レンズを使用して、イオン化粒子を基板に正確に供給します。これにより、ユニットは正確にイオンを供給しながら、エネルギーレベルを制御することができます。また、6レベルの高電圧フィードを使用して、特定のアプリケーション要件へのイオン投与量を構成および制御します。このユニットは、ジョイスティックコントローラと3レベルのディスプレイ機器で設計されており、インプラントを簡単に制御し、パラメータを監視できます。EATON NOVA GSD/HEは、最適な温度安定性のための温度制御真空システム、微調整角度調整のための入射角（AOI）ユニット、アプリケーションに応じて選択できるイオンソース構成など、最適な性能を確保するための多くの機能を提供しています。その他にも、イオン電流モニター、イオンエネルギーモニター、基板温度モニター、酸素センサー、ビーム位置調整機などがあります。さらに、EATON NOVA/AXCELIS GSD/HEは、インプラントの均一性と再現性を最大限に高めるための洗練されたプラズマ制御ツールで設計されています。また、最適な真空条件を達成するためのガス注入アセットと、さまざまなパラメータを監視してプロセス効率を最適化するマルチチャネル信号プロセッサを備えています。継続的かつ一貫したプロセスを実現するためにEATON NOVA GSDには、コンピュータ化されたデータ収集モデル、電源、パワーモニター、粒子速度とエネルギー情報を検出できるパルスハイトアナライザなど、多くの回路が装備されています。全体として、イートンノバGSD -HEは、インプラント/スパッタリングの精度と精度を提供する信頼性と汎用性の高いユニットです。半導体製造からMEMS、その他の電子デバイス製造まで、用途に最適です。その強力な機能により、GSD-HEは製品の生産性、効率、均一性を向上させることができます。