中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD Classic #9243444 を販売中
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ID: 9243444
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1996
High current ion implanter, 5"
Gas options:
Gas1: PH3 SDS
Gas2: ASH3 SDS
Gas3: BF3 SDS
Gas4: AR HP
Ion source: Bernas ion source (No vaporizer assembly)
S Control DI
Filament PS
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Terminal PD DI
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
TC Control DI
Gaussmeter / Probe
High voltage stack
EBARA AA10 Source rough pump
Accel HVPS
Accel supression
Accel HV stack
Robot control DI
Wafer transfer
Loadlock controller
Electron shower PS
Electron shower assembly
Cryo pumps (P2,9): (2) CTI Torr 8 and (2) Torr 10
Cryo compressors: CTI (2) 8200 and (2) 9600
EBARA AA70 Roughing pump (RP2)
CELL 133 Cell controller
(4) Cassette tables
Load buffer
Vacuum cassette
Dummy buffer
Cassette stand
LCD Monitor
Sun workstation
Rotary drive motor: Belt drive
Rotary drive DI
HCIG Controller
Flat aligner
Main power: 50 kVA, 208 V, 3-Phase, 5-Wire, 50 Hz
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSDクラシックイオンインプランターとモニターは、半導体材料にイオンを埋め込むために設計された高性能スキャン装置です。この強力で厳格な装置は、半導体材料に埋め込まれているイオンの投与量と濃度を正確に制御するために電子キャプチャ（ECD）技術を利用しています。0。1％以内に正確であり、材料が意図した用途に適切に処理されることを保証します。AXCELIS GSD Classicモニターは、32 ビットカラーLCDタッチスクリーンを備えており、データを簡単に表示できます。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は便利のために設計されています；そのユーザーフレンドリーなメニューは、設定への迅速なアクセスを提供し、オペレータは、特定のニーズを満たすために監視プロセスをカスタマイズすることができます。このデバイスは、簡単なデータ管理を可能にするリムーバブルストレージデバイスを備えています。EATON NOVA GSDクラシックイオンインプランターとモニターは、低メンテナンス操作と効率的な操作のために設計されています。このデバイスには、従来の手順に必要な時間のほんの一部で正確なインプラント操作を実行できる高性能アクセラレータが装備されています。また、放射線防止の外部ケーシングと、過度の騒音や温度スパイクのオペレータに警告する詳細な振動モニタリングシステムを備えた安全性のために設計されています。GSDクラシックイオンインプランターとモニターは、現在、市場で入手可能なその種の最も先進的なシステムの1つです。イオン注入およびモニタリングプロセスにおいて精度、スピード、信頼性が必要な半導体企業や研究所に最適です。その高品質のコンポーネントと信頼性の高いパフォーマンスは、ほぼすべてのプロジェクトにとって非常に貴重なツールです。
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