中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293815735 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2は高性能イオン注入器およびモニターです。低エネルギーインプラント動作用に設計されており、最大4kWのビーム電流で高エネルギー動作が可能です。この機械には、移植された材料の精度と精度を確保するために、多数の制御システムとアルゴリズムが装備されています。AXCELIS GSD 200E-2には多軸走行イオンビーム（TIB）アセンブリが装備されており、ウェーハ表面を迅速かつ高精度にスキャンし、イオンをターゲット材料に埋め込むことができます。このシステムは、高用量の安定性と再現性で非常に正確で均一な投与量を提供するためにデジタルで操作することができます。イオンビームは、アクティブなビーム電流制御とスタビライザによってさらに強化され、最高の精度を確保します。EATON NOVA GSD 200 E2は、プロセスパラメータとデータをリアルタイムで表示するグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたユーザーフレンドリーなシステムです。これにより、インプラントのプロセスを簡単に監視および調整できます。さらに、マシンには、ユーザー、機器、埋め込まれている製品を保護する多数の安全機能が装備されています。GSD 200 E2には、断面イオンビームスキャン顕微鏡、スペクトル分析、エネルギーおよびトポグラフィ測定など、さまざまな品質管理オプションも装備されています。この一連のオプションは、機械によって提供される結果の品質を最適化するため、および移植されたサンプルの品質保証と監視のために重要です。全体として、AXCELIS GSD 200 E2は、低エネルギーおよび高エネルギーイオン注入およびモニタリングのための強力で効果的なツールです。その高い発電出力および品質管理の特徴はそれを産業処理の適用のための理想的な選択にします。ユーザーフレンドリーなGUIと安全機能により、イオン注入プロセスを最適化し、さまざまな材料の精度、均一性、再現性を高めることができる安全で信頼性の高いオプションを提供します。