中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293813023 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2はEatonAXCELIS Technologiesが半導体産業の要求に応えるために設計したイオンインプラントおよびモニターです。幅広いウェーハサイズと素材で使用するために特別に設計された汎用性の高い高性能インプラントです。本装置は、ウェーハ表面にイオンを加速してウェーハ表面に浸透させ、イオンを埋め込む装置です。AXCELIS GSD 200E-2は、インプランター中毒を防ぐために設計された高効率の真空システムを備えています。ターボポンプ2基、洪水ポンプ2基、ラフポンプ2基、ゲートバルブ2基、イオンポンプ1基を備えています。イオンポンプは、インプラントが発生するのに十分な圧力を低く保ちます。EATON NOVA GSD 200 E2には、ウェーハ表面へのガスの流れを制御するために使用されるガス供給ユニットも含まれており、ウェーハに埋め込まれる種の均一な線量を確保します。EATON NOVA GSD 200E-2は、動作圧力範囲が1 × 10-7〜1 × 10-5 torrまたはPa、ウエハ径が2インチ〜7。5インチです。また、最大30kgの電子ボルト（keV）イオンに電力を供給し、最大100ミリアンプ（mA）までの最大ソース電流を供給することができます。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2には、インプランターを制御し、リアルタイムデータを監視するホストコンピュータとソフトウェアが装備されています。ソフトウェアは、投与量、種および移植のための他のパラメータをプログラムするために使用されます。コンピュータには、線量分布を表示するためのマッピングソフトウェアだけでなく、各ターゲット点で正確さを確保するための幾何学的プロセッサも含まれています。また、不正アクセスを防ぐための一連のセキュリティ機能も備えています。GSD 200E2はイオン源の安全モジュールおよびイオン避難機械のような洗練された安全機能を、人員のための最高の安全を保障するために組み込みます。安全モジュールはチャンバー圧力とガスのレベルを監視し、パラメータが許容範囲内にない場合は自動的にツールをシャットダウンします。イオン避難資産は、安全な環境を維持するために、埋め込み製品を迅速に避難させます。GSD 200E-2は精密、効率および正確さのための企業の必要性を満たすように設計されている高度モデルです。AXCELIS GSD 200E2は、高度な安全機能、優れたイオン供給装置、リアルタイム監視機能を備え、半導体製造において非常に有用なツールとなります。