中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293721217 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2は、EATON NOVA Technologies、 Inc。の部門であるAXCELISによって開発されたイオンインプラントおよびモニターです。優れた性能、信頼性、およびイオン注入プロセスの汎用性を提供します。AXCELIS GSD 200E-2は、それぞれ8kVと3。0T/mまでの幅広いインプラント深度と直径を提供します。クローズドビームライン設計を採用し、ソースとビームラインガスシステムを装備しています。ビームラインの外側から調整されたガスシステムは、最適な粒子エネルギー、作業圧力、角度形状、フィラメントの位置を提供します。EATON NOVA GSD 200 E2には、手動操作と自動化された操作の両方のための最先端の制御システムが装備されています。タッチパネルの表示から、ユーザーは部屋の圧力、フィラメントおよび設定を制御できます。また、温度、電圧、ガスレベルなどのシステムをリアルタイムかつリモートで監視できる診断機能も内蔵しています。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2は、取り外し可能な機械式シャッターで構築されており、さらなる安全性と精度を提供します。安全性などの性能面では、AXCELIS GSD 200 E2には音響エンクロージャ、半導体加工の安全要件を満たす放射および真空エンクロージャが装備されています。AXCELIS GSD 200E2は、高性能インプランタサービス市場で高速かつ正確な測定を提供できる唯一のイオンインプラントおよびモニタです。GSDは正確なインプラントを提供200E2だけでなく、プロセス全体で環境を監視および制御します。粒子軌道、ビームプロファイル、および統計パラメータを検出して応答することができます。高度なセンサーとソフトウェア設計により、システムは正確な埋め込み性能と少ない粒子損傷を保証することができます。さらに、EATON NOVA/AXCELIS GSD 200 E2は、小さな粒子をタイトに埋め込むことができます。これは、MEMSやその他のマイクロデバイス製造などの技術プロセスに不可欠です。EATON NOVA GSD 200E-2は、さまざまな粒子タイプとサイズ、および異なるイオン種間の高速スイッチングを備えています。高精度で劣化を最小限に抑えたGSD 200E-2は、市場で最も高性能なイオンインプラントおよびモニターです。