中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293597564 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2イオンインプランターおよびモニターは、広範囲のエネルギーにわたって正確に埋め込まれたイオンを供給することができる産業グレードのインプラント/モニタリング機器です。これは、他のほとんどのシステムで利用可能なよりもはるかに広い範囲で、1meVから10keVまでのエネルギーでイオンを埋め込むことができます。Eatonは高い信頼性と安全性を備えており、精密イオン注入と監視が必要なアプリケーションに最適です。Eaton AXCELIS GSD 200E-2は、各イオンビームのエネルギーを正確に計算できる強力なエネルギーアナライザで設計されています。このアナライザは、ビームのイオンの電流伝送電気抵抗を測定することによって機能し、システムが正確なエネルギーレベルを決定することができます。また、EATON NOVA GSD 200 E2には、運転中のイオンビーム電流を継続的に測定するイオンビーム電流モニタが搭載されています。これにより、イオン注入プロセスを最適化するために、電流を監視および調整することができます。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E-2は、高度なビーム安定化ユニットを備えており、ターゲット注入深度で安定した信頼性の高いビーム配送を保証します。この機械は一連の磁石を使用して均一なイオンビーム形状を作成し、移植されたイオンの均一性を向上させます。さらに、このツールは、環境や材料のばらつきによって発生する可能性のあるプロセス偏差を自動的に修正し、一貫した線量制御を維持することができます。AXCELIS GSD 200E2には、高速かつ正確にウェーハを処理できる高性能ロボットウェーハハンドラも付属しています。このロボットは、最大30チップ/分の高速でウェーハを移動させ、プロセス時間を最小限に抑え、スループットを向上させるように設計されています。さらに、ロボットには自動化されたアセットが装備されており、指定された埋め込み位置にあるイオンビームの自動アライメントが保証され、ユーザーは再現可能な結果を得ることができます。全体として、AXCELIS GSD 200 E2は、幅広い注入エネルギーに対応できる信頼性の高い正確なイオン注入器およびモニターです。その高度な機能により、ユーザーは必要な深さで埋め込まれたイオンの正確な用量を達成することができ、一貫した反復可能な結果を提供するために信頼することができます。高い信頼性、安全性、効率性を備えたEaton Eaton NOVA GSD 200E2は、精密イオン注入とモニタリングを必要とするアプリケーションに最適です。