中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #14146 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2は、半導体生産のための高度なイオンインプラントおよびモニターシステムです。これは、イオン注入およびin-situ監視タスクの両方に適した電子ビームイオン注入器のシングルエンド、デジタル制御、中電流発振ビーム型です。AXCELIS GSD 200E-2は、包括的な設定範囲を使用して、半導体材料に埋め込むイオンの量を正確に制御できます。また、イオンを埋め込むために使用される電子ビームの位置と形状を正確に制御することで、イオン埋め込みプロセスをより細かく調整することができます。さらに、EATON NOVA GSD 200 E2は、幅広い感度とパラメータを備えた統合されたin-situモニタリングシステムを提供します。これにより、イオン注入のモニタリングにおいて高精度・高精度を実現します。モニタリングシステムは、過剰なイオンの埋め込みや半導体材料の汚染などの影響を防ぐための自動安全機能も備えています。機器の適切な動作を確保するために、EATON NOVA GSD 200E2は、ダイレクトコントロールオプションとリモートコントロールオプションの両方で設計されています。これにより、技術者はコンソールまたは別のコンピュータワークステーションから機器を制御し、柔軟性と利便性を高めることができます。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200 E2は、データロギングと分析のための複数の診断機能とオプションも提供しています。これにより、技術者はイオン注入プロセス中に発生する可能性のある問題をより迅速かつ正確に特定してトラブルシューティングすることができます。全体として、GSD 200E-2は高度で信頼性が高く、高効率なイオンインプラントおよびモニターであり、ハイテク半導体生産の要求に精度と信頼性を提供します。