中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E #9209411 を販売中
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販売された
ID: 9209411
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Implanter, 8"
Upgrade kit from 80 KeV to 160 KeV
Parts included:
P/N / Description
2200109 / Hvps dual output -5kv glassman (mnl 8101410)
- / Red housing, nv-gsd-200e, rated for 160 kv operation
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1199240 / Dis 58900 fld rpl only disk faraday assy gsd-200
17335010 / (2) Ground electrodes
17021871 / (2) Aperture vgi electron showers
3100353 / Pump turbo tmp 1000c 250 1so-k/kf40
3100353 / Pump turbo tmp 1000c 250 1so-k/kf40
- / Module controller turbo pump scu-1000c
2200114 / Hvps – 5kv 20 ma del elect
1190160 / Plasma shower gun assembly
17121720 / Graphite shield e-shower
17335030 / Ground electrode
1141471 / Faraday flag assy vitreous graphite
1181490 / Sce rgh valve v8
3500087 / O-ring -216 buna
17C5290 / Mo knob bolt
17C2983 / Set screw molybdenium
17D6405 / Cathode electrode
1766531 / Plt burn thru (vt1)
17E9560 / Feed through bracket
17E9561 / Bracket
3500496 / O-ring -208 viton
5000132 / Stdf 3/8lx3/8x6-32 rnd cer hhs
17121850 / Repeller insulator
17304680 / Shower tube aperture ii pef-xe gsdiii/led
17067300 / Cover terminal
17100170 / Corona ring
1710831 / Cover, terminal box
17071160 / Cover, terminal plate
17067720 / Cover plate, (3) screws
17081180 / Cover
17068520 / (2) Brackets, angled
17071130 / Cover, red box
17071140 / Cover, red box
17074820 / (2) Covers, flexs
17022381 / (5) Shim insul 1/16 terms nv20
17072382 / (2) Shim insul 1/32 terms nv20
E17022380 / (2) Shim insulator terminals
4001587 / (2) Knob four arms clamping 5/16-18 unc
1199850 / Terminal exh kit
17051500 / Rp1 exhaust kit
1185620 / Terminal exh kit
1837180 / Alignment tools els
1833870 / Alignment tools els
17244920 / (3) Cover lower plasmas
17249760 / (2) Cover upper plasma showers
- / Scu-1000c turbo pump controller
17D1284 / (2) Nozzle retainers
11032780 / (3) Assy src housing sprt flag shields 11b3641
17150050 / Supp rack
17063520 / (2) Supp racks
17095870 / (2) Supp racks
17120370 / Supp rack
17091650 / (3) Supp racks
TUBE / (4) Supp racks
17103190A / Fil power dist
1168893 / Electron shower iv power supply
1168200 / Source di controller
1168201 / Source di controller
17080520-A / Lead shield
1169724 / Air distr. manifold
1184260 / Filter box
17127550 / Source alignment tool
1190500 / Electromagnetic reflector assy
1745100 / Source magnet assembly
17099070 / Cover
17095340-C / Feedthrough manifold
17324630 / (2) Insulator manipulator leds
1181831 / Faraday flag assy vit gr
- / Various blank-offs plates
1181831 / Faraday flag assy vit gr
17E3662 / Front slit (w)
17S2467 / Disk
17128680 / Block
RP1 EXH / RP1 Exhaust kit
- / Accel suppression electrode
- / (3) Various graphites
- / Various graphite
- / Source main alignment fixture
- / Vra cylinder, led ultra
- / Edwards valve
- / Edwards cable
300302720 / Ckd valve
- / Edwards vacuum gauge
- / Cooling block
- / Chamber end plate
17092060A / Roof panel, 67 cm x 87 cm x 1.5 cm
17092040C / Roof panel with exhaust cutout
17092020B / Roof panel with small exhaust cutout
17092030B / Roof panel with exhaust cutout, 120.5 cm x 67cm x 1.5 cm
17092050A / Roof panel, 120.5 cm x 67 cm x1.5 cm
17092070B / Roof panel with exhaust cutout, 120.5 cm x 67cm x 1.5 cm
17092505B / Angled roof panel with exhaust cutout, 50x28, 183x120
17092XXXX / Angled roof panel with square cutout
1707075XX / Door panel, l front 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
170707XXX / Door panel, l rear 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 x 97 x 2.5
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170X2540B / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Angled roof panel, 36.5 + 56 + 19 x 184 + 179.5 + 128.5 26.8 cm
170XXXXX / Angled roof panel, 50+28 183 (120)
17079780C / Extraction electrode shield, 62.5 cm 35 + 8 cm
17092600-D / Implant internal shield, 45.5 x 75.7 x 04
170XXXXX / Lead shield, 63.3 cm x 198 cm x 0.5 cm
1709XXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065480C / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 4.7 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17092540 / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
1179030D / Back of terminal, 194.5 cm x 223 cm
1XXXXXXX / Front of terminal, 223 cm x 194.5 cm
1XXXXXXX / Front panel, 134 cm x 110.5 cm
170XXXXX / Earth rod
17075120X / Earth rod
1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E Ion Implanter&Monitorは、イオンを材料に埋め込むために設計された高性能で高精度なデバイスです。このデバイスは、さまざまな材料から完全なトランジスタ、集積回路、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品を生成するように設計された幅広いオプションと機能を備えています。このデバイスには、さまざまなイオン注入レシピを可能にする調整可能なプロセスパラメータと設定が付属しています。さまざまなイオン種、電圧、電流、ウエハサイズに対応できるため、幅広いインプラント・プロジェクトに適しています。AXCELIS GSD 200E Ion Implanter&Monitorは、AC駆動のデバイスであり、最大60kVの直流高電圧を受け入れることができます。高速で大電流の電子銃を搭載し、最大1,000イオン/秒の速度でイオンを埋め込むことができます。また、イオン加熱による部品の汚染を避けるために、冷却水冷インタフェースを備えています。より大きなEATON NOVA GSD200Eは、横軸と縦軸の両方の形成とイオンの同時注入をサポートします。これにより、使用可能な最高の純度材料を生成しながら、均一な用量と深度制御を提供することができます。オンラインモニターはイオン注入プロセスのリアルタイム監視を提供し、ユーザーは所望の結果に応じてパラメータを調整することができます。さらに、デバイスは、自動的にエラーを認識し、それらを回避するためのアルゴリズムを提供することにより、埋め込みプロセスを最適化するための高度な分析モジュールが装備されています。装置は人員および装置への害の危険を減らすように設計されているので、すべての安全基準に従います。デバイスはPCから制御されるため、世界中のどこからでも遠隔操作できます。最後に、GSD200E Ion Implanter&Monitorは、クラスで最高の製品になる幅広い機能を備えています。その高度なシステムは、材料の広い範囲で迅速かつ正確にイオンを埋め込むことができ、そのリアルタイム監視システムは、ユーザーがその操作を完全に制御することができます。精度、精度、安全性を兼ね備えているため、イオン注入作業に最適です。
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