中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9262469 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200は、半導体生産施設で使用するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。この装置は、高エネルギー、低エネルギー、超低エネルギーイオンの両方の高品質で信頼性の高いインプラントを提供し、さまざまなプロセスで使用することができます。このシステムは、優れた精度と精度により、半導体基板や回路のイオン注入に特に有効です。AXCELIS GSD 200には、イオン線量、プロファイル、傾きパラメータのリアルタイム監視を提供する堅牢なイオンモニタが装備されています。このモニターは、インプラント精度と精度を確保するために、ターゲット用量と全体的な投与量プロファイルの正確な測定を提供します。EATON NOVA GSD 200には真空ユニットが搭載されているため、基板の加熱やイオン注入を真空環境で行うことができ、機械の精度と性能がさらに確保されます。さらに、GSD 200は、イオン注入プロセスの一環として高解像度イメージング機能を利用しています。このイメージングにより、ユーザーは埋め込みプロセスの進捗状況を視覚化することができ、インプラントのパラメーターと特定のアプリケーションに最適化されたイオンの制御が可能になります。このツールはまた、イオン注入に関連する危険からユーザーとデバイス自体を保護するための高度な安全機能の範囲を持っています。全体として、EATON NOVA/AXCELIS GSD 200は、半導体製造施設で使用するために設計された高度で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。制御された真空環境で、高エネルギーと低エネルギーイオンの両方の正確なインプラントを提供し、正確に監視することができます。また、高解像度のイメージング機能を搭載し、着床プロセスの精度を確保しています。これは、あらゆる半導体生産施設にとって貴重なツールであり、さまざまなイオン注入アプリケーションに必要な精度と測定ツールをユーザーに提供します。