中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9132020 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200は最先端のイオン注入器&モニターです。市場で最も先進的なインプラントであり、ドーパントイオンを基板に迅速かつ正確に制御するために設計されています。用量率、エネルギー範囲、イオン種の選択など、さまざまなプロセス制御オプションを提供しており、半導体および光電子デバイスの製造および製造に最適です。AXCELIS GSD 200は、厳格な自動制御を使用してウェーハの正確な埋め込みを保証することにより、中規模から大規模生産のために特別に設計されています。EATON NOVA GSD 200は、優れたウェーハカバレッジと歩留まりを実現するために、手動プロセスと自動化プロセスの両方を1つのシステムで組み合わせています。これは、完全に自動化されたプラットフォームだけでなく、ユーザーが簡単にドーピングプロセスを監視し、制御することができ、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このシステムは、ビーム電流精度+/-0。2％、ビームエネルギー精度+/-0。5％を達成できます。GSD 200はまた、正確で再現性のある着床プロセスを可能にする自動投与量、エネルギー、およびフラックスレート調整を備えています。その高度なウェハスキャナは、着床のための基板を正確に配置することができ、デジタルイメージャとデュアルカメラは完全なウェハ表面の詳細な参照画像を提供します。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200には、緊急時の完全自動シャットオフなど、さまざまな安全機能が搭載されています。高度な電源システムは、電力の利用を最適化し、効率を向上させます。結論として、AXCELIS GSD 200は最適化されたイオン注入のための優れたソリューションです。これは、最も一貫した再現可能な埋め込みプロセスを作成するために、最新の機能と技術を備えています。安全機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、さまざまなアプリケーションに最適です。