中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #293805195 を販売中
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EATON NOVA/AXCELIS GSD 200は、高度なイオンインプランター&モニターです。産業、医療、自動車など幅広い産業で使用されています。AXCELIS GSD 200は、部品にイオンを正確に垂直に埋め込むように設計されています。高い精度と再現性を提供するように設計されています。EATON NOVA GSD 200技術は、azimuthalスパッタリングに基づいており、RIE （Row Indicator Electrometer）を使用して、希望する種のイオンを予め設定された深さのターゲットに埋め込む。イオン源と電源の2つの部分で構成されています。イオン源は、高解像度でターゲットに向けられるアブレーション・プルームを生成することができます。電源はコンピュータ制御のMMIに接続されており、ビームエネルギー、ビーム電流、パルス周波数、プローブ時間などのパラメータを設定するために使用されます。GSD 200は、ホウ素、炭素、アルゴンなどの幅広いイオンを埋め込むことができます。高精度、再現性、および調整可能なパラメータの組み合わせにより、このマシンは厳しい仕様に部品を生産することができます。EATON NOVA/AXCELIS GSD 200にはイオン監視システムが搭載されており、ユーザーはインプラントのプロセスを監視できます。モニタリングされたデータを使用して、インプラントの結果を評価し、必要に応じて調整することができます。試験インプラントの実行を比較し、後でリコールするために保存することができます。AXCELIS GSD 200は、費用対効果の高い持続可能なイオン注入ソリューションを提供するよう設計されています。精密で再現性のある部品にイオンを埋め込む工業用グレードのソリューションです。また、イオンを医療部品や自動車部品に埋め込むのにも適しています。インプランターの性能は、そのクラスの他のインプランターよりも優れています。
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