中古 EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS GSD 100は、半導体産業のために特別に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。様々な先進機能を搭載し、高い精度、信頼性、柔軟性を提供する高性能機器です。AXCELIS GSD 100は、シングルステージプラットフォーム、マルチレイヤーデザイン、イオンソースシステムに基づいています。このユニットは、さまざまな種類のイオンに対応するように設計されています。これは、高電圧源と拡張ラグランジ磁場均質だけでなく、独自に制御された磁場を持つビーム均質化機械を利用しています。イオン源と加速ツールは、ハイブリッド構成で別々に使用または組み合わせてビーム電流を増やすことができます。モニタリング資産は、GSDメインボード、真空制御ユニット、ビームモニター、Voltmeters/Multimeters、ソフトウェアパッケージなど、さまざまな統合コンポーネントで構成されています。GSDメインボードは、一連のバルブを使用してガス組成物の制御で、ユーザーの仕様にビームと環境パラメータを制御する責任があります。真空制御ユニットは、適切なチャンバー圧力とクロストーク制御のメンテナンスを可能にします。ビームモニターは、ビームオンターゲットの強度と電流、回転角度、エネルギーレベルの監視を担当しています。最後に、Voltmeters/Multimetersは、着床プロセス中のターゲットの温度、圧力、および電流の測定を担当します。ソフトウェアパッケージは、GSDMainBoard、真空コントロールユニット、ビームモニターの操作、および他のシステムとのインタフェースに使用されます。このソフトウェアには、パラメーター構成の変更とGUI/CLIインターフェイスが統合されたエキスパートモデルが含まれています。EATON NOVA GSD 100には、ビジネスの自動化に使用できるカスタムプログラマブルロジックコントローラ（PLC）も含まれています。高度な機能を備えたGSD 100は、幅広い用途に使用できます。これは、通信、自動車、航空宇宙、軍事など、さまざまな産業のための半導体にドーパント原子を埋め込むために使用されます。この装置は、薄膜トランジスタ（TFT）の製造や、シリコンウェーハのエッチングおよび洗浄にも使用されます。EATON NOVA/AXCELIS GSD 100は、埋め込みプロセスの制御と監視に高い精度を提供する信頼性の高いシステムです。これは、さまざまな種類のプロセス、強化された安全機能、およびカスタム自動プロセスのためのプログラム可能なプラットフォームに高いレベルの柔軟性を提供します。