中古 EATON NOVA / AXCELIS Disk for GSD #9374660 を販売中

ID: 9374660
ウェーハサイズ: 5"
5".
EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSDは、半導体産業における統合ソリューションのリーディングプロバイダーであるEaton Corporationによって製造された先進的なイオンインプラントおよびモニター機器です。AXCELIS Disk for GSDは、高精度イオンインプランターと包括的なモニターソフトウェアを統合された直感的なシステムに組み合わせることができます。このユニットは、ユーザーのイオン注入ニーズに最高の精度と精度を提供するように設計されています。EATON NOVA Disk for GSDは、ビームやプロセスパラメータなどのインプラント条件を最適化および制御するために設計された先進的なマシンです。このツールは、精度の高い材料の広い範囲で動作することができます。このハードウェアは、高分解能イオンインプランタモジュール、強力な陰極電源、改良されたビームコンバータ設計、および高帯域幅イオンスカベンジュアセットを備えており、これらはすべて最適なイオン注入精度を確保するのに役立ちます。Disk for GSDの監視機能により、ビーム電力、ビーム電流、ビームサイズ、ビームプロファイルなどのイオンビームパラメータを監視できます。このモデルはまた、リアルタイムプロファイルモニターを備えているため、ユーザーはビームプロファイルプロファイルを最適化して目的の結果を得ることができます。EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSDは、リアルタイムのプロセス制御機能と、新しい材料をチェックしてシステムプロセスパラメータとの互換性を確認する機能も提供します。AXCELIS Disk for GSDはメンテナンスコストが低く、使いやすく直感的なユーザーインターフェイスを備えています。この機器は、ユーザーが簡単にインプラントのプロセスを最適化することを可能にするツールと診断サービスの幅広いメニューを提供しています。また、精密な結果と再現可能なプロセスを保証するために、レシピと材料データの包括的なライブラリも備えています。全体として、EATON NOVA Disk for GSDは、高精度、低メンテナンスコスト、および高度な制御をユーザーに提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニタリングユニットです。ハードウェア、ソフトウェア、モニタリング機能を組み合わせることで、半導体業界における正確で再現性のある結果を達成するための理想的なソリューションとなります。
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