中古 EATON NOVA / AXCELIS Conversion kit for GSD 200 #293663564 を販売中

EATON NOVA/AXCELISコンバージョンキットfor GSD 200は、1つのシステムでGaAsプロセスパラメータをより正確に監視および測定するために設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。GSD 200は、HBT、 PHEMT、 LED/LD構造など、さまざまなタイプのGaAsデバイスに最適化されたデバイス性能を生成することができます。このユニットは、埋め込みの精度と信頼性を向上させ、プロセスパラメータの監視と制御を提供します。この装置を使用することで、イオンインプラントの電圧、電流、ビーム放出電流を監視するとともに、充電回収効率、瞬時線量率、ビーム貫通深度などの重要な特性を収集・分析し、より包括的なインプラント性能評価を行うことができます。また、GSD 200によって収集されたデータパッケージは、一貫したインプラントのプロファイルを確保するために、埋め込みパラメータの修正を容易にします。GSD 200のユーザーインターフェイスは、ユーザーフレンドリーでシンプルな設計で、オペレータは簡単にコマンドを入力できます。グラフィカルディスプレイモニターは、ユーザーが正確なインプラントゾーニングのための重要なパラメータ設定を表示するのに役立ちます。このツールを最適なプロセスパラメータに設定するには、広範なパラメータライブラリを使用して指示することができ、制御された効率的で信頼性の高い平面ウェハプロセスのための埋め込み特性のカスタマイズを奨励します。さらに、GSD 200は幅広い電源をサポートし、イオン注入エネルギーの迅速な切り替えを可能にします。この資産はまた、特定の範囲内でエネルギーシフト係数を補償するために利用可能なユニークなエネルギースペクトルシフト機能をユーザーに提供します。これは、インプラント電圧の小さな変化が発生しても、均一な着床プロファイルとより良い再現性を提供するのに役立つため、非常に有用で貴重な機能です。GSD 200 Ion ImplanterおよびMonitor用AXCELISコンバージョンキットは、優れたGaAs監視およびプロファイリングのための優れた低コストのソリューションです。これは、信頼性の高いインプラント性能を提供し、一貫したインプラントのプロファイルを保証し、ユーザーに正確なインプラントの保証を提供します。さらに、使いやすいインターフェイスはユーザーフレンドリーで効率的であり、ユーザーはインプラントのパラメータを完全に制御してパフォーマンスを最適化します。