中古 EATON NOVA / AXCELIS C-6000 #9248477 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS C-6000は、専用のイオンインプラントおよびモニター装置です。半導体ウェーハや集積回路（IC）基板を高精度かつ高速な加速イオンで正確にドープするように設計されています。インプラントプロセスには高度なイオンガンを使用し、インプラントプロセスを正確に監視するための高解像度センサーを採用しています。AXCELIS C-6000は、リニアモータを使用した2軸ガントリーユニットで構成され、イオン源とウェーハを超精密に移動させ、XおよびY平面での適切な位置決めを保証します。モーター制御はプログラム可能であり、目的のドーパントプロファイルを正確に埋め込むことができます。イオン源、典型的にはカウフマンイオン源は、高エネルギーイオンインプラント用途に使用されます。カウフマン源は幅広いイオン種を提供し、基板上の柔軟なインプラントプロファイルを可能にします。EATON NOVA C-6000は、高解像度のファラデーカップ監視機を使用して、ドーピングプロセスの正確な監視と制御を可能にします。このファラデーカップツールは、加速されたイオンの速度を正確に測定し、瞬時に制御することができます。注入された線量のリアルタイム情報はファラデーカップから取得することができ、より正確で正確なプロセス制御を可能にします。ファラデーカップに加えて、C-6000は線量の決定と制御のための高度な抵抗モニタアセットを備えています。このモデルは、4つの並列検出器のセットを使用して、移植された線量をリアルタイムで監視します。検出器からの読み取りをあらかじめ設定した値と比較することで、適切な埋め込みを容易に監視および制御することができます。EATON NOVA/AXCELIS C-6000には、インプラント工程でイオンビームエネルギーを効率的に利用できるように設計された高度な真空装置が含まれています。最先端のターボ分子ポンプ、ポンプラインの適切な選択、および高い効果的なポンプ速度を使用することで、安定した真空環境を実現します。このシステムは、インプラント活動がより低い圧力で行われるように設計されており、インプラント工程の予測性と精度を大幅に向上させることができます。AXCELIS C-6000は、半導体ウェーハおよびIC基板の正確かつ高速ドーピングを可能にする、高度なイオンインプラントおよびモニタユニットです。これは、高度なイオン銃、高精度ファラデーカップ監視機、および正確な投与量制御のための高度な抵抗モニタツールを利用しています。さらに、高度な真空アセットにより、イオンビームを効率的に利用して、希望するドーピングレベルを正確に埋め込むことができます。