中古 EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSDは、半導体製造業界のアプリケーション向けに設計された最先端のイオン注入器およびモニターです。この装置は、デジタルイオンモニター、ミニチュアイオンインプランター、および大面積デジタル検出器を統合して、信頼性と費用対効果の高いプロセス制御のための材料プロファイル情報を提供します。モニターは、最高品質のビームプロファイル制御を可能にするように設計されており、クリーンで正確なインプラントを保証します。このシステムは、質量測定（MRM）およびタンデムイオン化（TI）技術を使用して、質量と電荷分布に基づいてイオンを検出および監視することができます。さらに、イオンインプランターには、イオンの均一な分布を維持するための電磁石と、ウェーハの汚染を防ぐための高パルスレーザーが搭載されています。AXCELIS Al Disk for GSDを使用すると、ユーザーは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにアクセスでき、ユニットをシームレスかつ直感的に操作できます。さらに、このマシンには、最適化されたプロセス監視のための画像検出器に接続されたデジタルイメージングセンサーが含まれています。EATON NOVA Al Disk for GSDは、最大限の柔軟性とスループットを提供するように設計されています。オンボードコントローラの組み合わせにより、このツールは動作周波数、制御パルスレート、および最適な動作のための温度を監視することができます。さらに、アセットには、調整可能な埋め込み深度、広範囲の埋め込み角度、および異なる埋め込み材料およびアプリケーション用に設計された埋め込み構成があります。パフォーマンスに加えて、Al Disk for GSDは、リアルタイム監視（アラームや通知を含む）や遠隔監視機能など、高度なユーザー保護機能も備えています。このモデルはさらに、Al Disk電極表面処理（ATES）装置によって補完され、電極表面の劣化を防ぎます。全体として、EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSDは、信頼性と費用対効果の高いプロセス制御を提供する最先端の機能を備えた最先端のイオンインプラントおよびモニターです。ユーザー保護機能とパフォーマンス機能を備えた柔軟かつ正確なインプラントを提供するように設計されており、最大限の柔軟性とスループットを実現しています。高度なデジタルイメージングセンサーにより、ユーザーは最高品質のインプラントを確実に実現できます。