中古 EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 8250HTは、複雑な半導体製造アプリケーション向けの洗練されたイオンインプラントおよびモニターです。高精度の材料を加工し、高純度、高精度の材料の製造プロセスを分析、調整、制御することができるツールです。グランドパルス幅と短い処理時間で、高出力イオン注入の効率的なソリューションです。AXCELIS 8250HTは、ハイテク加速器、電源、プロセス制御システムを組み合わせて、生産を最適なレベルで稼働させます。生産性、精度、安全性を向上させるために設計されたさまざまな機能を備えています。フレキシブルアキュムレータ装置（FAS）は、ウェーハまたは太陽電池を素早くスキャンして正確さを確保し、エラーを低減することができます。プログラムデジタル制御システム（PDC）は、プロセスパラメータを正確に制御し、可能な限り最高の純度と性能を確保するために使用されます。また、Intact/Darkside Auto-Analysis （IDAA； Intact/Darkside Auto-Analysis）ユニットも含まれており、最適化された結果を得るためのパラメータ設定の分析、分離、および調整を可能にします。自動化された機能に加えて、EATON NOVA 8250 HTはオペレータに一連の監視ツールを提供します。そのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、プロセスを管理し、必要に応じて調整するためのシンプルで直感的な方法を提供します。そのリモート診断マシン（RDS）は、ツールの誤動作や不整合をトラブルシューティング、診断、微調整するために使用されます。そのQuality Mapping技術は、ウェーハまたは太陽電池上のさまざまな場所への埋め込み効果を正確に検出および分析することができます。最後に、User-Switchable Stageは、データを失うことなく効率的なプロセスを確保するために、さまざまなインプラント条件をすばやく切り替えることができます。EATON NOVA 8250HTは、プロセスの精度、速度、安全性を向上させるために設計されたさまざまな機能を備えた先進的で革新的なイオンインプラントおよびモニターです。汎用性と包括的な制御により、特殊な半導体製造アプリケーションに最適なソリューションです。