中古 EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 8250は、半導体デバイス製造に使用される高度なイオンインプラントおよびモニターです。最高レベルのプロセス一貫性を実現し、優れたネットデバイスのパフォーマンスと歩留まりを実現します。AXCELIS 8250は、3軸走査メカニズムと高度なコンピュータ制御ビーム電圧プロファイル発生器を組み合わせ、N型とP型の両方のドーパントの埋め込みにおいて優れた精度を発揮します。EATON NOVA 8250のイオン源は、最大150ミリアンプのイオンビーム電流を供給でき、ビームエネルギーは10〜700 keVです。ビーム電流、ビームエネルギー、スキャンエリアのユーザー設定可能な設定により、高度にカスタマイズされたインプラントが可能で、追加のハードウェアは不要です。この高度な技術により、8250は新しいウェーハと既存のウェーハの両方をドーピングするための優れた選択肢となります。統合されたプロセスモニタ装置は、投与量、ビーム角、傾き、総電流、電圧、プロファイルシフト、ドーパントレベルなど、埋め込まれたウェーハの特性を継続的に分析することができます。これらの高度な測定により、EATON NOVA/AXCELIS 8250は、非常に正確なドーパントプロファイルを備えたインプラントを提供し、優れたデバイスを生み出すための非常に特殊な特性を備えています。また、このシステムには独自のサーマルイメージングセンサ技術が搭載されており、着床プロセス中のウェーハ全体の温度を最適化するのに役立ちます。AXCELIS 8250の高度なコンピュータコントローラユニットは、インプランターの迅速かつ一貫したセットアップと操作を容易にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは簡単な操作を可能にし、カスタマイズ可能なパラメータは、将来の使用のために簡単に機械に入力して保存することができます。便利なリモートメンテナンス機能と優れたポストオペレーション診断により、このツールは時間をかけて簡単にメンテナンスできます。EATON NOVA 8250は、優れた精度と均質なデバイスのインプラントを提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。この汎用性の高いユーザーフレンドリーな資産は、制御されたイオンビーム電流、ビームエネルギー、スキャン領域を迅速かつ正確に提供し、最適なドーパントレベルとデバイス性能を実現します。強力なモニターモデルにより、8250は優れた精度と歩留まりを備えたインプラントを一貫して提供します。