中古 EATON NOVA / AXCELIS 8200 #293636664 を販売中

AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200は、幅広い材料に正確にイオンを埋め込むように設計された洗練された中距離イオンインプラントおよびモニターです。従来のEaton Spectrum、 Essenza、 Celestaの後継製品であるAXCELIS 8200シリーズは、シリコン、ヒ素ガリウムなどの半導体材料へのイオンの埋め込みに特に適しています。高精度、低圧、低汚染エアーライン、セルフアラインイオンビーム散乱および均一性、およびインプラント用の幅広いイオンを備えています。非常に信頼性の高いEATON NOVA/Accelis EATON NOVA 8200は、最適なイオン注入パラメータを迅速かつ正確に設定および調整する機能をユーザーに提供する汎用性の高い統合制御機器を備えています。完全に自動化されたこのシステムは、イオンと関連条件の任意の組み合わせを埋め込むようにプログラムすることができ、手動実験の必要性を排除し、オペレータの時間を最小限に抑えることができます。最大80個のイオンを同時に処理することが可能な一体型制御ユニットで、設定を素早く正確に変更することができます。EATON NOVA/AXCELIS/Accelis 8200は国際規格の複合ユニットに準拠しているため、イオンビームに適応する際の柔軟性が向上します。この機械は高精度で低排出の真空ツールを備えており、チャンバー汚染を低減し、異なるソースからイオンを注入する際のスループットを向上させます。さらに、独自のパーティクルビームインターフェイスを採用しており、イオンビームの回転と曲げを調整でき、ビームサイズ、プロファイル、角度をカスタマイズできます。AXCELIS/Accelis EATON NOVA/AXCELIS 8200シリーズには、ビーム光学、ビーム均一性、温度、輪郭マッピング、ビーム電流測定などの高度な監視システムも搭載されており、イオン埋め込みプロセスにタブを保持できます。さらに、このアセットには自動補正ルーチンも含まれており、イオンビーム方向の変化に応じて自動再調整と最適化を可能にし、手動での介入を排除します。EATON NOVA/Accelis AXCELIS 8200は、精度、汎用性、精度を備えた、洗練された信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。その統合された制御モデルは容易な調節を可能にし、高度なモニタリングシステムは滑らかで効率的な移植プロセスを促進します。高度な機能を備えたEATON NOVA/AXCELIS/Accelis EATON NOVA 8200は、着床アプリケーションに最適です。