中古 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9257995 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 6200は、Eaton Machines社製のイオンインプラントおよびモニターのミッドレンジモデルです。AXCELIS 6200は半導体産業の高速生産で使用されるように設計されています。これは、中距離イオン注入、およびインプラント工程中のモニタリングに理想的な選択肢です。EATON NOVA 6200は、正確で正確なインプラントを提供するように設計された堅牢で効率的な機械です。それは陽極側、陰極側、comensateおよびホウ素、リン、ヒ素、アンチモンまたは他のイオンと自己バイアスを移植することができます。これにより、高いレベルのインプラント制御と正確なイオン線量注入が可能になります。また、最も効率的に望ましいレベルのイオン注入を生成するために、幅広い着床速度を可能にします。6200には、すべてのパラメータが許容範囲内で維持されるようにする複数の監視システムが装備されています。例えば、システムはビーム電流、エネルギーレベル、チャンバー温度、およびシステムの調整可能性を監視します。また、インプラントが適切に行われていることを確認するのに役立つ様々な自動化されたプロセスを備えています。EATON NOVA/AXCELIS 6200には、希望するイオンを正確に注入できる高精度オートメーションシステムが搭載されています。さまざまな種類の基板やイオンに対してカスタマイズ可能なイオンインプラント設定を備えています。これにより、毎回、各インプラントが完全に行われるようになります。AXCELIS 6200も安全性を考慮して設計されています。オペレータと人員を保護するために設計されたいくつかの機能が装備されています。この機械は、インプラント線量を継続的に監視し、有害なレベルの放射線から人員を保護するために、線量モニターなどの最新の安全装置を誇っています。また、真空ロックや機械の誤操作を防ぐための電源遮断など、いくつかの安全機能も備えています。全体として、EATON NOVA 6200は信頼性が高く効率的な中距離イオン注入器およびモニターです。精密なインプラントとモニタリングを提供し、中距離イオン注入を可能にするように設計されています。また、高度に自動化されており、人員を保護するのに役立ついくつかの安全機能が装備されています。6200は中型イオンインプラントを効率的に製造する方法を探しているあらゆる半導体生産ラインに最適です。