中古 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 6200イオン注入器とモニターは、高性能で最先端のイオン注入装置です。最先端の技術と長年の経験を組み合わせ、最適なパフォーマンス、安全性、信頼性を提供します。システムのソース技術は、インプラントのエネルギーと高用量の広い範囲をサポートしています。ソースはカートリッジベースで、交換可能な引き出し付きのるつぼとキャビティソースを備えており、メンテナンスの容易さのために設計されています。このスキャナは、インプラントの方向とサイズを正確に制御できる電磁界を使用しています。その設計は線の端および格子地域の均一な線量の配分そして制御を保障します。AXCELIS 6200は、最大4種類の用量とインプラント角度を可能にします。得られた埋め込みパターンは、スキャナ回転軸に取り付けられた光学エンコーダで監視されます。このユニットは、1。3度の精度で注入角度を監視することができます。また、送りガス流量を正確に制御する高性能マスフローコントローラと、電力変動時のプロセス安定性を維持するライドスルーパワー機能も搭載しています。EATON NOVA 6200マシンには、ウェーハ全体の均一な温度を確保するための高度なウェーハ温度制御ツールが装備されており、過熱による敏感なデバイスの損傷を軽減します。それは自動および手動ウェーハの分類の機能を含んでいます。6200マシンには、強力な診断ツールと、問題の診断とトラブルシューティングを支援するグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。また、高度なリアルタイムアセットモニタリングも組み込まれており、モデルが常に安全で信頼性の高い方法で動作していることを保証します。EATON NOVA/AXCELIS 6200は、ハイエンドのパフォーマンス機能と先進的な機器監視機能を備え、今日の要求の厳しいイオン注入アプリケーションに理想的なソリューションを提供します。