中古 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 6200は高性能イオン注入器およびモニターです。イオンビーム加工での大量生産を想定して設計されており、半導体製造、自動車、航空宇宙、医療など幅広い分野で使用されています。AXCELIS 6200は、イオンガン、高電圧電源、ビームラインモニタ、制御システムの4つの主要コンポーネントからなる完全自己完結型の機器です。イオン銃は、動作エネルギーにイオンを加速する高電圧電源によって駆動されます。ビームラインモニタは、イオンビームの正確なパラメータを測定し、正確な操作と制御ユニットへのフィードバックを行います。EATON NOVA 6200は、直径6インチ、長さ12インチまでのウェーハにイオン注入することができます。1メートルあたり300万ボルトまでのエネルギーでイオン注入を行うことができ、ビーム電流は20〜10,000ナノサンプルです。また、B11、 Gaif、 O2+、N2+、P2+、Ar+などの様々なイオンとともに、正イオンと負イオンの両方を埋め込むことができます。6200はビームジオメトリ、ビームエネルギー、ビーム電流、および線量の点で究極の精度を提供します。また、マスクを使用せずに、非常に均一なビームプロファイルと穿孔を提供します。また、再現性に優れた高速加工が可能で、高い生産性と精度を実現しています。EATON NOVA/AXCELIS 6200には、Visual Alarm Tool （VAS）、誤動作防止のためのデジタルインターロック、高度なHV電源およびビームモニタ保護システムなどの内蔵安全機能も搭載されています。これにより、資産は常に安全に運用できます。AXCELIS 6200は、高度で信頼性の高い信頼性の高い機械性能の効率的な操作と制御に最適です。使いやすく費用対効果の高いパッケージで、優れたパフォーマンス、正確性、柔軟性を提供します。