中古 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #123090 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 6200は、イオン注入プロセスのすべての側面を制御できる高度なイオンインプラントおよびモニターです。ウェーハの工業生産用に設計されており、半導体製造のための非常に正確な用量とインプラント深さを提供することができます。この機械は、加速器ベースの機械と同じように、分子イオンの高い加速度に基づいています。これにより、ユーザーはウェーハの表面に正確な均質性を達成することができます。イオンビーム電流の制御は、イオン電流モニターによって調整されます。このモニターは、ビーム電流を0.1mA分解能で測定することができ、非常に正確な結果を提供します。ビーム供給は、デュアル操作システムで構成されています。これは、垂直変換段階と回転段階によってウェーハ平面に配置することができます。後者は横方向と縦方向の両方を回転させることができ、簡単にアクセスできないウェーハの任意の部分を回転させるのに役立ちます。AXCELIS 6200は、インプラントのパラメータ、投与量レベル、投与率など、さまざまなプログラマブルパラメータも備えています。ユーザーはこれらのパラメータを任意のタスクに設定することができ、マシンはそのタスクに必要なすべての設定とパラメータを自動的にロードします。これにより、プロセスはユーザーにとってはるかに迅速かつ簡単になります。これに加えて、マシンはまた、インプラントの最高品質を確保することを可能にする他の機能の数を備えています。これらには、温度制御や圧力制御などの機能、および幅広い診断機器を使用して着床の行為を監視する機能が含まれます。全体として、EATON NOVA 6200は、高品質のインプラントとユーザーフレンドリーな操作を組み合わせた非常に高度なマシンです。ウエハの量産・量産に適しており、幅広いメーカーのニーズにお応えします。