中古 EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 25D1HEイオンインプランターは、半導体の製造および組立に使用される高精度で高性能な機械です。このイオン注入器は、3D積層ダイやMEMS/MOEMSデバイスの高効率イオン注入および監視に特に適しています。AXCELIS 25D1HEの重要なコンポーネントには、高解像度、高精度スキャン電子顕微鏡が含まれます。集中されたイオンビーム（FIB）のコラム；リモート・プラズマ・ソース（RPS）；そして高力電子ビーム（HFEB）のコラム。EATON NOVA 25D1HEの顕微鏡の機能は、サブアングストローム分解能を持つナノ構造のイメージングを可能にします。イオンビームコラムは、最大1MeVのインプラントエネルギーでイオン注入を行うことができ、注入の均一性を確保するためにビームを集中させることができます。RPSは、ユーザーに注入室内でプラズマを生成する能力を提供します。これにより、より迅速な埋め込み、インプラントの均一性の向上、およびデバイスのずれの軽減が容易になります。HFEBカラムは高精度の機能制御を提供し、ユーザーは高精度で再現性の高い機能をエッチングすることができます。25D1HEはまた、イオン注入器の性能を継続的に記録する統合監視装置を提供し、ユーザーにリアルタイムのフィードバックを提供します。このモニタリングシステムは、さまざまなセンサーと診断機能を使用して、イオンビームパラメータ、チャンバー圧力、セル温度などの診断パラメータの値を測定および表示します。また、ユーザーは、完成したデバイスの最高品質と精度を確保するために、注入プロセスに関する情報を追跡および記録することができます。EATON NOVA/AXCELIS 25D1HEは、信頼性の高い高度なイオンインプラントおよびモニタリングユニットです。さまざまなイオン注入タスクで優れた性能と精度を提供し、プロトタイピングと生産アプリケーションの両方に最適です。統合されたモニタリングマシンにより、ユーザーはマシンのパフォーマンスを継続的に評価し、最適な結果を得ることができます。