中古 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV Cイオン注入器とモニターは、制御された方法で半導体基板にイオンを注入するために使用される最先端の機器です。薄膜で正確かつ正確な深度プロファイルを作成し、最適な結果を得るために調整する必要があるパラメータを決定できるように設計されています。このシステムはいくつかの部品で構成されており、その中でも最も重要なのが真空チャンバーです。これは実際のイオンインプラント手順が行われ、その壁はステンレス鋼でできています。その真空は、所定の圧力レベルを維持する空気圧ユニットで避難します。これは、着床プロセス中の基板の安定性と完全性を維持するために重要です。また、コンピュータ制御の各種測定・解析ツールを搭載しています。これらには、残留ガス分析器、質量分析計、イオンモニター、マスフィルターが含まれます。質量分析計は、埋め込まれているイオンの種を識別するために使用され、イオンモニターは埋め込みとその効果を継続的に監視することができます。これは、プロセスが望ましい結果を生み出していることを保証するのに役立ちます。また、精密なビームステアリングとフォーカシングに使用される高精度のイオン光学部品も備えています。これは、望ましい深さとプロファイルを達成するだけでなく、基板全体のイオンの分布を制御するために重要です。このアセットには、イオンが基板に入るときに生成される二次電子のより良い検出のために使用される二次電子乗数も含まれています。これにより、プロセスの精度と再現性が向上します。AXCELIS 1204990 REV Cイオン注入器とモニターは、高精度で信頼性の高い注入プロセスを提供する高度なモデルです。そのコンポーネントは最高品質であるように設計されており、効率的で信頼性の高い、費用対効果の高い結果を提供し、調和して協力するように構成されています。それは現代の半導体チップの品質管理のための完全な装置です。