中古 EATON NOVA / AXCELIS 1190160 / 057 REV C #9145253 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS 1190160 / 057 REV Cは、半導体ウェーハの処理に使用するために設計されたハイエンドイオンインプラントおよびモニターです。多数の埋め込みサイクルが可能で、さまざまなウエハ生産アプリケーションでの使用に適しています。このイオンインプラントは、高い充電率から高エネルギーインプラントまで、幅広い機能を備えています。多面レンズと多絞りクロージャープレートを使用しているため、高い充電率が可能です。プレートは、ビーム形状と焦点を調整するために調整可能であり、最も複雑な構造やパターンでさえも埋め込むことができます。調節可能なプレートには温度制御機能も備えており、正確な着床条件が得られます。温度は広い範囲の値に調整することができ、わずかな程度まで正確に埋め込むことができます。AXCELIS 1190160 / 057 REV Cは、高充電率と調整可能なプレートに加えて、最先端の真空装置も備えています。このシステムにより、ウェーハ表面全体に着床前の汚染物質が含まれないようになり、非常にきれいで正確な着床プロファイルが得られます。EATON NOVA 1190160 / 057 REV Cにはモニタリングユニットも装備しています。このマシンは、注入プロセスに関するリアルタイムのフィードバックをユーザーに提供し、各サイクルが可能な限り正確であることを保証します。モニターはグラフィカルユーザーインターフェイスも備えており、シンプルで簡単な操作が可能です。最後に、 1190160 / 057 REV Cは最高の安全基準に基づいて構築されています。UL、 CSA、 CE認証を取得しており、最高の安全基準とプロセスが確立されています。また、高品質のコンポーネントを使用し、EatonおよびAXCELISによってテストおよび認定されています。結論として、EATON NOVA/AXCELIS 1190160 / 057 REV Cは、ウェハ生産アプリケーションに最適なハイエンドイオンインプランターおよびモニタです。調整可能なプレートと高い充電率により、正確な埋め込みが可能になり、真空ツールとモニタリングアセットにより、正確さと安全性が保証されます。UL、 CSA、およびCE認証も、最高の安全基準を保証します。