中古 PSM PLASMA #9201023 を販売中

PSMプラズマは、PSM社が製造するエッチャー/アッシャー装置です。PLASMAを使用して金属などの表面から材料を除去します。このシステムは、チャンバー、真空ポンプ、およびPSM PLASMAソースで構成されています。PLASMAソースは、ガス原料からガス混合物を生成し、それを基板に適用します。ガス混合物は、基板表面に向けられ、基板材料の物理的な蒸発を引き起こす電気アークに変換されます。除去された材料は、真空ポンプによってユニットから排出されます。PSM PLASMAを使用する主な利点は、プロセスパラメータを最適化して結果を改善することです。より低い基板温度は、可能な地形効果のより広い範囲を生成することができ、より高い基板温度は、より高いアブレーション率を可能にします。また、幅広いガスに対応しているため、プラズマポリエッチング工程や超微細マイクロパッタの製造が可能です。ダイレクトインジェクションツールは、CVD真空アセットの必要性を排除し、安全で信頼性の高いプロセスコストと時間を削減します。プロセスパラメータを正確に監視する機能により、一貫したエッチングまたはアッシングプロセスが実現されます。また、堅牢な温度制御装置を備えているため、オペレータはタイトな制御と最適な材料除去のための温度プロファイルを簡単に設定できます。PLASMAのカスタマイズ可能なオプションにより、金属、基板、その他のさまざまな材料のエッチング/アッシングに適しています。このシステムには、パラメータを制御し、エッチング/アッシングプロセスを監視するためのソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアはまた、内蔵の障害監視ユニットを備えており、動作中の最大限の制御と安全性をユーザーに提供します。全体として、PSM PLASMAは、さまざまな業界に信頼性が高く、費用対効果の高いエッチング/アッシングプロセスを提供します。そのカスタマイズ可能なパラメータと安全機能の広い範囲は、医療機器の生産からプリント基板の製造に至るまでのアプリケーションの範囲のための理想的な選択肢になります。