中古品 PSM (エッチャー／アッシャー) を販売中

PSMによって製造されたエッチャー/アッシャーは、プラズマエッチングプロセスの半導体業界で使用される汎用性と効率的なツールです。これらのエッチャー/アッシャーは、半導体ウェーハやその他の基板から材料を取り除き、希望するパターンや構造を作成するように設計されています。PSM etcher/ashersの主な利点の1つは、正確で均一なエッチング結果を提供する能力です。これは、高度なプロセス制御技術によって達成され、エッチングパラメータがプロセス全体にわたって正確に制御および維持されることを保証します。PSM etcher/ashersはまた、優れたエッチング選択性を提供し、高解像度パターニングを可能にします。PSMは、半導体メーカーの特定のニーズを満たすために、さまざまなチャンバーサイズと構成のエッチャー/アッシャーモデルを提供しています。プラズマモジュールは、エッチング処理にプラズマ技術を利用したPSMエッチャー/アッシャーの例です。プラズマモジュールは、高速かつ効率的なエッチングを提供し、高いアスペクト比と優れた均一性を実現します。もう1つの例は、エッチング機能と蒸着機能を組み合わせたプラズマ強化化学蒸着（PECVD）モジュールです。このモジュールは、基板を同時にエッチングしながら薄膜を成膜することができるため、誘電体や金属層の成膜などの用途に適しています。全体として、PSM etcher/asherは半導体メーカーにプラズマエッチングプロセスのための信頼性の高い正確なツールを提供し、プロセス制御、選択性、汎用性の点で利点を提供します。