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PSM PLASMA
ID: 9138676
Plasma cleaner.
PSM PLASMAは、さまざまな材料や材料の表面をエッチング/除去および修正するために使用されるエッチャー/アッシャーです。プラズマを使用して材料の表面にエネルギーを浸透させ、材料を変更することができます。PSMプラズマが治療に使用する最も一般的な材料は、金属、ポリマー、セラミックス、および合金です。PLASMAエッチング処理は、ガス(通常はアルゴン、窒素、または水素)をイオン化し、チャンバー内の荷電粒子のPSMプラズマを作成することによって機能します。陽イオンのこのプラズマは、材料の表面を照射するために使用され、分解してガスの形で原子を放出します。その後、このガスはチャンバーから除去され、プロセスは完了します。PSM PLASMAシステムには、エッチングチャンバー、2つの電極、反応チャンバー、電源が付属しています。エッチングチャンバーは、2つの電極と反応チャンバーを内蔵した密閉空間です。電極は、反応チャンバーがPLASMAで満たされると、処理される材料の周りに均等に分布するように配置されます。電源は電極に電源を供給し、PSM PLASMA反応を開始します。この装置には、調整可能なガスの流れ、温度制御、およびより正確なエッチング処理を可能にする圧力制御などの追加機能も装備されています。PLASMAエッチングプロセスは、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)製造、プリント基板(PCB)加工、半導体製造、その他の材料改質プロセスなど、多くの産業用途で使用されています。また、PSM PLASMAを用いた既存材料の改変や新素材の創出など、研究開発分野でも活用されています。PLASMAは、異なる材料で極めて精密な結果を得るために使用できる高度なエッチングプロセスです。それは信頼でき、速く、費用効果が大きく、安全で、エッチングのプロセスの優秀な均等性そして正確さを提供できます。大容量のエッチングや加工、タフな素材への応用に最適です。
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