中古 OXFORD Plasmalab 133 #9404282 を販売中

OXFORD Plasmalab 133は、あらゆるタイプの基板のエッチング、洗浄、表面改質用に設計された高性能プラズマアッシャーです。これは、最先端の研究、開発、生産アプリケーションでの使用に最適なオールインワンツールです。機械はセットアップし、作動すること容易なユーザーフレンドリーな用具です。プラスマラブ133は、コンパクトなベンチトップ設計で、優れた性能と信頼性を提供するためにステンレス鋼から構成されています。一体型の圧力コントローラ、調節可能な温度計、PIDデジタルディスプレイを備えており、エッチングプロセスを正確に制御できます。RFパワーを利用して活性種の高密度放電を行い、最大10mTorrのチャンバー圧力を得るために調整することができます。調節可能な反復可能な出力によって、機械はいろいろ材料および基質の1ミクロンの正確さにエッチングできます。OXFORD Plasmalab 133は、バッチモードまたは連続エッチングで動作することができます。350°Cまでの高温耐性があり、0。25ミクロンまでの厚さをエッチングすることができます。リアクティブイオンエッチング（RIE）モードでも動作できます。RIEモードは、3D-structuringなどの複雑なパターンをエッチングするのに便利です。Plasmalab 133には、エッチング工程を精密に制御するための2つのガスフィードO2/CF4付属しています。安全性を確保するために、OXFORD Plasmalab 133には内蔵の安全インターロックが付属しています。また、真空漏れ時に電源を遮断する真空漏れ検知システムを搭載しています。真空チャンバーは標準のクライオポンプで動作するように設計されているため、エッチング工程全体で真空を確実に維持できます。プラズマラブ133は、正確なプラズマエッチングを必要とするあらゆるアプリケーションに理想的なツールです。ユーザーフレンドリーなデザイン、使いやすさ、および高性能機能により、研究と生産の両方のさまざまなタスクに最適です。