中古 OXFORD Plasmalab 133 #9256926 を販売中

OXFORD Plasmalab 133は、集積回路、摩耗した工具、鉄及び非鉄材料および貴金属の表面をエッチングおよび灰化するように設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、高度な特許取得済みのプログラマブルデジタル制御装置と強力な高周波発生装置を備えており、バッチからバッチへの正確かつ一貫したプロセス制御と再現性を可能にします。Plasmalab 133は、電気バイアス、エッチング化学、および反応ガスの組み合わせを使用して、表面をエッチングまたは灰に加工します。電気バイアスは、処理ガスをイオン化してプラズマを形成する電場を作り出します。エッチング化学と組み合わされたこのプラズマは、基板表面に所望のプロファイルを作成し維持するために使用されます。化学およびガスは特定の適用に適するために変えることができます。OXFORDのPlasmalab 133は異なった結果を達成するためにプロセスパラメータの広い範囲を提供し、よいプロセス安定性を提供します。エッチングの均一性とプロセス加速度を最適化する独自のガス分配システムを搭載しています。このチャンバーはメンテナンス作業を削減するように設計されており、2つの高性能真空ポンプが付属しています。これにより、アプリケーションに応じて真空レベルをすばやく変更でき、プロセス制御が強化されます。Plasmalab 133には、直感的なオペレータセットアップスクリーンとグラフィカルオペレータインターフェースが付属しており、ユニットとプロセスの制御と監視を迅速かつ簡単に行うことができます。それに安全および環境保護システムの最新があります。それは完全に包まれ、化学薬品の露出を最小にし、安全な労働環境を提供するように設計されています。OXFORD Plasmalab 133は、幅広い用途に適した信頼性の高い効率的なエッチングおよびアッシング機です。優れた再現性と幅広いプロセスパラメータを備えているため、産業、実験室、教育用途に最適です。