中古 OXFORD Plasmalab 133 #293824959 を販売中

OXFORD Plasmalab 133はナノスケールのレベルの材料の精密な制御そして操作のための高度のエッチング/ashing装置です。このシステムは、特にマイクロエレクトロニクスやナノテクノロジーの用途において、厳しい仕様で高精度な部品を作成するために使用されます。プラズマラブ133には、エッチングとアッシングのためのプラズマ環境を作り出すために使用されるECR（電子サイクロトロン共鳴）源が装備されています。このユニットには、RF（無線周波数）発電機、ソースプラズマチャンバー、およびプラズマを集中させるためのノズルアセンブリが含まれています。ECRソースは最大500MHzの周波数範囲を持ち、広範囲の動作周波数で最大4kWの電力を生成できます。このソースには調整可能なイオン化エネルギーもあり、幅広いエッチングとアッシングのプロセスを可能にします。OXFORD Plasmalab 133のソースチャンバーはステンレス製で、エッチングおよびアッシング工程で最大8個のサンプルホルダーを使用できます。また、ユーザーがプラズマ環境の圧力を正確に調整することができる真空自動圧力制御マシンが含まれています。チャンバーには、プロセスガスの迅速な設置または除去を可能にし、バックグラウンド圧力を維持できるようにするための規定もあります。Plasmalab 133には、高解像度スキャンや材料の位置決めなど、ナノスケールレベルで材料を精密に操作できる高度な機能と、エッチングとアッシングパラメータの広範囲を備えています。また、温度監視、非常停止、ガス供給遮断弁などの安全機能も備えています。OXFORD Plasmalab 133は、精密部品の製造に適した高度なエッチング/アッシング資産です。そのパワフルで汎用性の高い設計は、さまざまなナノスケール操作に理想的であり、その安全機能は、プロセスが最大限の精度と注意を払って行われることを保証します。