中古 OXFORD Plasmalab 133 #293712618 を販売中

OXFORD Plasmalab 133はエッチャーとアッシャーの組み合わせ機器です。このシステムは、3つの技術を1つに組み合わせることで、薄膜を迅速かつ正確に製造できるという利点があります。このユニットは、エッチングとアッシングのプロセスを非常に細かく制御して薄膜を生成することができます。このマシンは、デュアルソースプラズマソースとシングルソースRFソースを備えています。デュアルソースのプラズマソースは、調整可能なパワーとフィネスを備えた等方性エッチングを提供します。シングルソースのRFソースは、異方性エッチング処理を提供し、薄膜を1つのパースで製造することができます。このスパッタリングガンは、市場で最も先進的なものの1つであり、非常に短い時間で均一な薄膜をスパッタすることができます。この銃は、毎秒最大30ブロックの速度で薄膜を堆積させることができます。また、13軸ロボットヘッドを備えており、ウェーハの正確な操縦と位置決め、エッチングおよびアッシングツールの位置決めが可能です。これにより、薄膜の迅速かつ正確な処理が可能になります。OXFORD Plasmalab 133には、真空ペーサー、可変酸化エッチング速度、調整可能なサイクルタイムなど、さまざまな機能があります。これにより、プロセスパラメータを高度に制御することができ、プロセスをより効率的にすることができます。アセットには、ユーザーインタラクション用のインターフェイスを備えた制御モデルも内蔵されています。これにより、オペレータは機器機能にアクセスし、パラメーターを簡単に調整できます。また、全厚均一なエッチングが可能で、低エネルギーエッチングが可能です。これは、そのマルチプロセス機能と高性能プラズマガンのおかげです。このユニットは、幅広い薄膜プロセスに適しています。全体的に、プラスマラボ133は、薄膜を素早く正確にエッチングおよびアッシングするための強力で柔軟なツールです。スパッタリングガンから酸化エッチングまで、さまざまな技術を組み合わせ、均一な薄膜を素早く製造することができます。柔軟なパラメータと包括的な制御ツールにより、プロセスを高度に細かく制御でき、コスト削減と柔軟性の向上につながります。