中古 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9205766 を販売中

OXFORD Plasmalab 100 Plus
ID: 9205766
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
PECVD System, 6" 1996 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 Plusは、実験室や研究施設で使用するために設計された最先端のエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、半導体材料、マイクロエレクトロニクスデバイス、およびMEMSデバイスの精密エッチングとアッシングのために設計されています。金属、石英、シリコン、ガラス、セラミックス、ポリマーなど幅広い基板を加工できます。このユニットは、低価格のRF電源を使用して、真空チャンバ内の高密度、低圧、誘導結合プラズマ(ICP)源を作成します。ICPソースは、基板材料の所定の部分をエッチングして除去するために使用されます。Plasmalab 100 Plusの優れた柔軟性により、ユーザーは基板タイプと希望する仕様に基づいてエッチングおよびアッシング処理をカスタマイズできます。このマシンは、圧力、温度、周波数、ガスの流れなど、いくつかのパラメータを備えた高度な静電容量タイプのプロセスコントローラを備えています。高度なプロセスコントローラを使用して、エッチングパラメータを微調整して目的の結果を得ることができます。OXFORD Plasmalab 100 Plusには直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、ユーザーは目的のエッチングパラメータを正確に選択し、プロセスの自動操作を可能にします。このツールには、ユーザーの便宜のための圧力読み出しとデジタルタイマーも含まれています。このアセットは、ウェットエッチング機能と、複数のエッチング処理を制御するためのインターフェイスを備えています。モデルは容易な維持のために設計され、耐久のステンレス鋼の設計があります。また、作業環境における空気中の粒子や有害廃棄物を低減する高効率の粉塵濾過システムを備えています。Plasmalab 100 Plusは、信頼性の高い結果をユーザーに提供する高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングユニットです。精密な制御と直感的なユーザーインターフェースにより、このマシンは実験室の研究開発アプリケーションに最適です。
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