中古 OXFORD Plasmalab 100 Plus #293637903 を販売中

OXFORD Plasmalab 100 Plusは、第二世代の多周波数中型誘導結合プラズマ（ICP）エッチャー/アッシャー装置です。このICPエッチャー/アッシャーは、ポリシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、フォトレジスト、金属酸化物、金属窒化物など、さまざまな材料に精密なエッチングを提供することができます。高圧、低消費電力、高速サイクルタイムなどの最適なプロセス条件で設計されています。ICPエッチプロセスは非常に反復可能であり、高品質の表面を生成することができます。Plasmalab 100 Plusには、15MHzから40MHzの間で周波数を調整できる統合された多周波発生装置があります。これにより、さまざまな媒体の異なる材料をエッチングする際に最大限の柔軟性が得られます。エッチャー/アッシャーに供給されるICP電源は、最大50ワットの電力を供給することができ、前述のような典型的な材料よりも耐性のある材料のエッチングを可能にします。また、調整可能なガス流量を持つガスフローコントローラを採用し、幅広いエッチングレシピを実現しています。OXFORD Plasmalab 100 Plusには、218 mm x 406 mmの大型ワークテーブルサイズの統合ロボットマニュアルステージも装備されています。この機能は、さまざまな形状やサイズの材料をエッチングするための最大限の柔軟性を提供します。統合された熱画像カメラは、エッチング中の材料の温度を測定するためにステージと組み合わせて使用することもできます。さらに、このユニットには、ユーザー定義のプロセスレシピ、データ収集、およびレポート作成用のソフトウェアツールのフルセットが付属しています。Plasmalab 100 Plusは、インターロックマシンやオートオフタイマーなどの複数の安全機能を備えており、エッチング処理に関連する高温、電圧、圧力からオペレータを保護します。このツールには、接地されたチャンバー、保護パネル、ガスおよび真空の安全遮断バルブなど、他のいくつかの安全機能が含まれています。全体として、OXFORD Plasmalab 100 Plusエッチャー/アッシャーは、最高の柔軟性と信頼性の高いエッチング性能を提供する優れた機器です。その優れた設計と堅牢な部品は、高度な材料加工、研究、開発に最適です。