中古 NOVELLUS Gamma Express #9314671 を販売中

NOVELLUS Gamma Express
ID: 9314671
ウェーハサイズ: 12"
Stripper / Asher, 12".
NOVELLUS Gamma Expressは、先進的な半導体製造プロセス向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。高度に自動化されており、最先端の集積回路の製造から医療および工業製品まで、さまざまな目的で精密エッチング材料に使用できます。ガンマエクスプレスは、高圧、ケミカルフリーエッチングプロセスを採用しており、プロセス制御、高スループット、精度、およびより高い歩留まりを向上させます。このタイプのエッチングは、複数のスタンドアロンツールの必要性を排除し、手動エラーのリスクを減らし、貴重な床面積を解放します。この装置は、高純度の不活性チャンバーを使用して動作し、正確なエッチング結果を保証する最適なエッチング環境を提供します。直感的でユーザーフレンドリーなデザインは、高度なオートメーション技術を備えており、セットアップと操作が簡単で効率的です。NOVELLUS Gamma Expressはオンボードコントロールシステムを搭載しており、さまざまなエッチングパラメータをプログラムして比較することができます。このリアルタイムデータにより、プロセスの各ステップを監視し、最適な結果を保証するために変更することができます。その他の機能として、PPC真空ユニット、2ゾーンドライエッチプロセス、統合プロセスガスレギュレータ、プロセスクリーニングおよび診断、およびプロセスコントロールソフトウェアがあります。このソフトウェアは、ガス圧力、流量、エッチング時間、温度など、必要なすべてのパラメータを制御することができます。精密エッチング機能に加えて、Gamma Expressは予測可能性と汎用性も提供します。マルチパスエッチングにより、完全な精度と完璧な結果が保証されますが、プロセスレシピはさまざまな種類のアプリケーションに合わせて最適化することができます。全体として、NOVELLUS Gamma Expressは、高度な半導体製造プロセス向けに設計された、信頼性の高いユーザーフレンドリーなエッチャー/アッシャーです。直感的な設計、自動化された機能、高度なプロセスコントロールマシンにより、最先端のIC製造から医療および工業製品まで、精密エッチング用途に最適です。
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