中古 NOVELLUS Gamma Express #9171640 を販売中

NOVELLUS Gamma Expressは、半導体マイクロファブリケーション用の高度なエッチャー/アッシャーです。それは高速、超高精度および優秀なコーティングの均等性のために設計されています。半導体ウェーハの加工用ファブ環境で広く使用されています。ガンマ急行は2つの主要な部品から成っています：1）エッチング/灰ガスおよび基質を含んでいる真空の部屋であるコンデンサー；そして2）源からの基質に出力を渡すために責任がある電気配達システム。エッチング/アッシュ源は、材料をエッチング/アッシュするために高エネルギーイオンを生成する電子ビームガンです。電子と気体分子の相互作用により、基板上のエッチング/アッシュパターンが生成されます。NOVELLUS Gamma Expressは、ビームパスを正確に制御するため、エッチング/アッシングパターンに優れた均一性を提供します。基板を正確に整列させ均質なエッチングを確保するために、各種チャック、コリメータ、光学システムを搭載しています。エッチャー/アッシャーには、さまざまなパルス電源とプロセスパラメータを細かく制御する非同期ドライバも含まれています。これにより、エッチング速度、深さ、均一性、選択性、エッチングのアスペクト比などを正確に制御できます。Gamma Expressには、作業環境が安全であることを確認するために、粒子検出器、真空モニター、汚染モニターなどの高度な安全機能も装備されています。電源設定、ガス流量、排気圧力などのプロセスパラメータは、運転中にリアルタイムで監視できます。サイズに関しては、NOVELLUS Gamma Expressは非常にコンパクトで、幅はわずか540mm、奥行きは515mmです。これにより、中規模から大規模な半導体加工に適しています。Gamma Expressも経済的で、競争力のある価格で、多くの微細加工プロセスに人気があります。全体として、NOVELLUS Gamma Expressは半導体マイクロファブリケーション用の高度なエッチャー/アッシャーであり、プロセスの優れた制御を誇っています。優れた精度、均一性、安全対策により、半導体加工アプリケーションに最適です。