中古 NOVELLUS Gamma Express #293642130 を販売中

NOVELLUS Gamma Expressは、半導体および誘電体デバイス製造における重要で大量かつ高アスペクト比のエッチングおよびアッシング用途を実行するために設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。この最先端のエッチング/アッシャー・システムは、優れたスループット、プロセスの均一性、歩留まりを備え、シリコンをはじめとする半導体材料をはじめとするさまざまな基板の高速かつ高精度なエッチングおよびアッシングを提供するように設計されています。Gamma Expressは非常に効率的な設計で構成されており、リモートプラズマ機能、垂直方向および横方向プロセス、線形RFおよび静電容量材料の互換性、放射線削減エンジニアリング、および完全に自動化された基板処理ユニットなどの技術が組み込まれています。これらの機能は最適なエッチング環境を作り出し、手動操作、組立、制御操作に伴うリスクを低減します。NOVELLUS Gamma Expressは、高強度プラズマ、高速エッチング速度、均質なプロセスを実現する窒素プラズマ源を搭載しています。遠隔プラズマ源は、シリコン、銅、ゲルマニウム、チタン、アルミニウム、およびその他の金属を含む幅広い材料にわたって均一で反復可能なエッチングラインプロセスを保証します。この高度なエッチングライン構成は、基材に応じて最大8分のプラズマ持続時間と最大6 μ m/minのエッチング速度を備えています。完全に自動化された基板ハンドリングは、信頼性が高く効率的であり、手動ハンドリングと部品入力を削減して高速かつ再現性の高い処理を提供します。Gamma Expressには、高度な組み込みプロセス制御マシンも含まれており、ユーザーはツールを監視、調整、および最適なパフォーマンスのためにプログラムすることができます。この高度な制御資産は、4つのエッチングおよびアッシングプロセスレシピを提供し、それぞれに調整可能な「エッチングレート」パラメータを備えており、幅広い基板や材料に対応しています。ユーザーはエッチラインのレシピをカスタマイズして、より高いスループット速度を達成したり、特定のレイヤーや機能にプロセスを最適化したりすることもできます。NOVELLUS Gamma Expressは、高精度で大規模なウェハスケールの製造要件を満たすように設計されています。この高度なエッチング/アッシャーモデルは、一貫した高いプロセスの均一性を提供し、高収率で費用対効果の高いデバイス製造を可能にします。ガンマエクスプレスは、今日の高度な半導体デバイス製造要件に必要な信頼性と再現性を提供するように設計されています。