中古 NEMS NEMST-JET- 2008III #9247042 を販売中

NEMS NEMST-JET- 2008IIIは、様々な基板表面に高精度のエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計された多機能エッチャー/アッシャーです。NEMST-JET- 2008IIIは、真空技術とDSA技術を使用して、カスタムまたは地形的に一致する可能性のある幅広い画像を生成します。NEMS NEMST-JET- 2008IIIは、信頼性と実績のあるパフォーマンスを特徴とし、クリーンなプロセス結果を最大限の再現性と再現性で提供します。それはまた速い自動変数設定を提供し、速く、容易な手動調節を可能にするユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスと結合する洗練された制御システムによって動力を与えられます。NEMST-JET- 2008IIIを使用すると、プロセス圧力、チャンバー温度、ガスの流れ、プロセス期間など、すべてのエッチングおよびアッシングパラメータを制御できます。さらに、NEMS NEMST-JET- 2008IIIの精密な機械設計により、プロセスを微調整し、さまざまな材料のレシピを選択することができます。NEMST-JET- 2008IIIのエッチングおよびアッシング処理は、遠隔RFプラズマを使用して実行され、最適な周波数にチューニングすることができます。これにより、チャンバー内のガスの流れが正確かつ均一になり、非均一な面積の高さがなくなります。さらに、材料の種類に応じてプロセスガスを最適化することができ、高品質のエッチングとアッシングプロセスを可能にします。NEMS NEMST-JET- 2008IIIは、21インチの大型直径チャンバーを備えており、チャンバ内の大型基板ローディングを可能にします。シリンドリカルチャンバー設計により、反応性ガスの効率的な排出と、同時に良好な温度均一性で処理するための基板ホルダーのサスペンションを可能にします。最後に、NEMST-JET- 2008IIIは、高速で正確で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスをユーザーに提供します。さまざまなパラメータを個別に調整して、完璧なエッチングとアッシングの結果を得ることができます。RFプラズマを使用することで、基板から独立した結果が得られます。さらに、ユーザーインターフェイスとプロセス制御により、NEMS NEMST-JET上のプロセスの設定、実行、監視が迅速かつ直感的に2008IIIされます。