中古品 NEMS (エッチャー/アッシャー) を販売中
エッチャー/アッシャーは、ナノ電気機械システム(NEMS)の製造プロセスで使用される重要な製造ツールです。NEMSとは、ナノスケールにおける電気的機能と機械的機能の両方を統合するデバイスまたはシステムを指します。これらのシステムは、製造中に高精度と精度を必要とし、エッチャー/アッシャーはこの目的に効果的に役立ちます。NEMSエッチャー/アッシャーは、従来のリソグラフィ装置と類似していますが、ナノスケール寸法を扱うように特別に設計されています。これらの機械は、反応イオンエッチング(RIE)やプラズマエッチングなどのエッチング技術を使用して材料を選択的に除去し、所望のナノスケール構造を作成します。NEMSエッチャー/アッシャーの利点の1つは、高いアスペクト比を実現し、複雑で正確なナノスケール機能を作成できることです。さらに、スケーラビリティにより、さまざまなサイズと複雑さを持つNEMSデバイスを製造できます。NEMSエッチャー/アッシャーの顕著な例は、優れたプロセス制御と高エッチング均一性を提供するNEMST-2002IIIであり、研究開発アプリケーションに適しています。もう1つの例は、産業規模でのNEMSデバイスの効率的で費用対効果の高い生産を提供するNEMST-JET-2008IIIです。全体として、NEMSエッチャー/アッシャーは、ナノスケール装置の正確かつ正確な製造において重要な役割を果たしており、NEMS分野の研究、開発、および産業アプリケーションに不可欠なツールとなっています。
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